基于应力集中压阻式微悬臂梁设计.pdfVIP

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2017-08-30 发布于安徽
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基于应力集中压阻式微悬臂梁设计.pdf

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第5卷第4期纳米技术与精密工程 V01．5No．4 2007年12月 Predsion Nmmtednmb硒and ofPiezoresistiveMicro-Cantilever、订thStress Design Concentration Regions MEI Zi-chen De—qing，WANGYan-cheng，CHEN ofAdvanced (Institute Manufactu=nsEngine喇Ilg，删iallgUniversity，mn班岫310027，China) ofcantilever-hasedNew methodof Abstract：Inordertoincn笺Isethe biosensor，a sensitivity design piezoresis— nat- with aresome fivemicro-cantileverstressconcentration SC飚，which regions(sC鼬)was跚f哗Ied．1he localized8tIlgS$concentration-whentheconstantforce rOWslitsonthesiliconbasedcantilevers，call produce fabricatedfrom resistorsori— onthestructure．Sicantilevers，whichwafers(100)and applied boron-implanted ented a anda托usedfor thestlagS$ along1 direction，havelfl学piezoresistiveresponse sensiIlg 10in-plane ofSCRswe托carriedoutwithfinitede- distribution．nlesimulationand forthestrc鹞distribution optimization thatthe concentratedaroundthen刮口uw ment simulationresultsshow she鹪is analysis(FE