立方相外延层的表面起伏.pdfVIP

（ 辑） ( 第 卷 第 期 （ ） 年 月 $! @ %2A62 A6 2=A6( %BCDB8 ( :! @ 立方相!# 外延层的表面起伏 和高密度孪晶与六角相! ! ! ! 渠 波 李顺峰 胡国新 ! ! ! ! ! 郑新和 王玉田 林世鸣 杨 辉 梁骏吾 （ 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室，北京 !#$； 中国科学院北京电子显微镜实验室，北京 !# ） ! 摘要 利用扫描电子显微镜（ ）、原子力显微镜（ ）、透射电子显微镜（ ） %’ ()’ *’ 和 射线衍射（ ）技术研究了低压金属有机化学气相淀积（ ）的立方相 + +,- ./0’123- （ ）外延层的表面起伏特征，及其与外延层极性和内部六角相、立方相微 4567 45(8 ! 孪晶之间的联系 结果表明外延表面存在有大量沿［ ］方向延伸的条带状台阶，而 9 !! 表面起伏处对应着高密度的六角相或立方相微孪晶，在表面平整的区域内其密度则 较低 ｛ ｝和｛ ｝面上形成六角相和微孪晶概率的明显差异是导致外延层表 9 !!! 45 !!! 6 面台阶状起伏特征的根本原因9 关键词 !# 极性 表面起伏 闪锌矿型结构的立方相456 具有较小的能带间隙，较高的结晶对称型，和低温生长等特点9 当以 （ ）为衬底外延生长时，还具有易解理形成激光器谐振腔镜面、后工艺可与 工艺 45(8 ! 45(8 ［，］ 兼容的优越性 立方相 发光二极管的研制成功已经引起了研究人员的极大关注! : 9 456 9 然而，立方相456 外延层的晶体质量仍然劣于生长在蓝宝石衬底上的六角相456 9 困扰 ［ ］ 其晶体质量提高的混相问题已经得到了广泛研究: ; ，但立方相456 外延层上严重的表面起 伏现象尚未得到足够的重视 由于粗糙的外延表面将阻碍立方相 基器件结构的实现，降 9 456 低器件性能，所以分析456 外延表面的起伏特征和形成机理，就可以有效地改进生长工艺，提 高外延表面的平整度9 本文利用扫描电子显微镜（ ）和原子力显微镜（ ）观察和表征了低压金属有机化学