精密和超精密加工外部支撑环境.pdfVIP

精密和超精密加工技术 Precision and ultra-precision machining 精密和超精密加工 的外部支撑环境 1 本章 内容  空气环境和热环境  振动环境  噪声环境  其他环境  精密和超精密加工的环境设施 2 概述 要达到精密和超精密加工精度，必须对外部环境严格 控制 外部环境包括：空气环境、热环境、振动环境、声环 境、光环境、电场环境和电磁环境等;  所要求控制的只是一个局部的环境，随加工的精度要 求越来越高，对外 部支撑环境要求的 方面会越来越多， 指标越来越高。 3 §1 空气环境和热环境 一、空气环境  空气中尘埃和微粒在普通加工中对质量没有影响，但 是对精密和超精密加工来讲是不可忽视的。  例如：计算机硬盘读写数据时磁头飞行高度只有几十 纳米，如果抛光加工时空气中混入坚硬的尘埃，加工 中造成了划伤，就不能正确记录信息，严重时就会使 磁盘报废；  半导体大规模集成电路元件制造过程中，如果混入尘 埃杂质，可能在后续工序中成为不可控扩散源而产生 大量次品。 4 一、空气环境  日常环境的空气洁净程度各有不同，通常认为的比较 干净的地方，如手术室的尘埃数目也达到50000个/立 方英尺。 5 一、空气环境  我国规定的空气洁净度等级见下表；  大连理工大学现代制造技术研究所的实验室净化 间的设计洁净度等级为1000级。 6 二、热环境  热环境对精密和超精密加工也有密切关系；热环境主 要控制的品质为温度和湿度。  首先，温度变化会影响设备的精度。 • 例如，一台镗床在20℃进行检验精度完全符合标准， 但在-10℃和35℃会有许多检验项目超差，这主要因 为床身铸件在-10℃会有中凹变形，而在35℃时会有 中凸变形，最大翘曲量可达7~11μm。  其次，环境温度分布不均匀也会影响设备精度。 • 例如，安装在窗户附近的机床，局部受阳光照射使 机床相对两面产生10℃温差，变形可达0.14mm/m。 7 二、热环境  除了影响机床的几何精度，温度还会影响工件的加工 精度。 • 例如，加工3m长的丝杠时，磨削温升为1℃，丝杠 就会伸长0.033mm，这对于高等级精度的丝杠的影 响是很严重的。  对于相互配合的偶件，材料不同温度变化时膨胀收缩 量就会不同，这就会使他们之间的配合性质发生变化， 影响设备性能。  长度的精密测量是精密和超精密加工的重要保证手段， 而任何不标明温度的精确长度是没有意义的，因此， 国际上采用20 ℃作为长度测量的标准温度。 8 二、热环境  进行长度比较的两物体温度不会完全相同，因此引起的