几种纳米加工技术原理_特点及应用.pdfVIP

第 卷第 期 4 3 纳米加工工艺 Vol.4No.3 年 月 2007 6 Nano-processingTechnique June2007 几种纳米加工技术的原理、特点及其应用* 赵保军, 王 英, 张亚非 (上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室, 微米纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 ) / 200030 摘 要:从整体上介绍了基于传统半导体加工的纳米加工技术、探针直接书写式纳米加工技术、纳 米复制加工技术,以及这几种纳米加工技术的原理、特点及其应用。 关键词:纳米加工;掩膜;浸笔纳米印刷;微接触印刷;纳米压印 ThePrincipleandCharacteristicandApplicationof Nano-fabricationTechnology ZHAOBao-jun, WANGYin, ZHANGYa-fei (ResearchInstituteofMicroNanometerScienceandTechnology,KeyLaboratoryforThinFilmand MicrofabricationTechnologyofMinistryofEducation,ShanghaiJiaotongUniversity, Shanghai200030,China) Abstract:Theprinciple,characteristicandapplicationofnano-fabricationtechnologyincludingnano-fabricationbased ontraditionalsemiconductorfabrication,probedirectwritingtechnologyandnano-replicationareintroduced. Keywords:nano-fabricationtechnology;nano-mask;dip-pennanolithography;microcontactprinting;nanolithography 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) TN405 A 1812-1918200703-0044-06 0 引言 寸不断缩小,从微米级到亚微米级,进而深入到分 子、原子级。这一方面对材料的性能参数和加工工 人类每一次加工和制造技术的发展,都带来 艺精度提出更高要求;另一方面也面临着“一个极 工业和社会文明的进步,将加工精度从微米级提 限问题” ,迫使人们去探索和认识微细加工的极 高到纳米级,使人类对自然的认识和改造深入到 限,研究基本的曝光过程,寻找更短波长的可用光 了一个更新的层次。全球范围内正在为建立适应 源,积极探索未来下一代新的集成电路产品。应运 纳米尺度的新的集成方法和新的技术展开竞争, 而生的纳米加工技术的出现及发展,必将在微电 这些技术的突破将对信息产业和其它相关产业带 子学领域中引起巨大的技术开拓,传统的微电子 来一场深刻的革命,由此获得的经济价值将是难 [1