平面光学元件加工技术.docVIP

平面光学元件的加工技术 浙江大学 光电系 曹天宁 宁波华光精密仪器公司 周柳云 光学平面零件包括棱镜、、、、、、、、mm,材料主要是光学玻璃,有时是光学晶体,为了达到高精度与高效率,采用技术方法很多,有铣磨、、、、、、、、 、、、 、、、、 、、、△、、、、、、、、、、、、、、、、mm. 工件可以为平面,也可以为棱镜组合光胶镜盘或金属夹具组合棱镜镜盘.由于HPM机型采用变频调速,软启动,软停止,运动平稳,低噪音使用更为方便。 这类机床的工作原理也是母板复制法,要求底盘具有高的平面性,工作盘有时常修正环或分离器,主轴转速高15-85rpm，通常用聚酸脂抛光片加抛光悬浮液抛光.显然修好聚酸脂光盘的平面性是一个关键，可以用平面金属模来修正也可以用金属修正环来修正，这种方法是中等精度的高效加工方法. 图六a.JP560环抛机示意图  图6b.JP560环抛机 图六c.HPM100环型平面研磨抛光机 低速环型抛光法 高精度的平面(如平晶或薄型平面)适合用低速环型抛光法。这种方法也是母板复制法,由于工作母板(柏油抛光盘)具有可塑性,是边抛光边修正的,校正板起保持与修正作用,而速度、reston抛光方程.对工件平面上任意一点M(x,y)(图六)的抛光量h(x,y)为 h(x,y)=A∫P