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建筑玻璃与工业玻璃 2010，No2 薄膜太阳能电池用掺铝氧化锌透明导电膜的研究进展 中国建筑材料科学研究总院玻璃科学研究所 刘超英 摘 要 ：掺铝氧化锌 (AZO)透 明导电薄膜作为一种性能优异的多功能材料 引起 了研究人员的普遍关 注，尤其是在薄膜太阳能电池方面的应用越来越广泛，被认为是 当前极具发展潜力的传统铟锡氧化物 (ITO)薄膜的替代者。详细介绍了AZO薄膜的光电机理，综述了AZO薄膜的不同制备工艺，并叙述 了衬底温度、 掺杂量、氧分压、退火条件 、同质缓冲层五个因素对薄膜的结构 以及光电性能的影响。 针对AZO透明导电薄膜的研究现状 ，提 出了今后 的研究方向：理论与经验相结合 ，优化工艺设备 ，在 提高薄膜透光率的同时进一步降低其表面电阻和制造成本 ，并不断开拓AZO薄膜新的应用领域。 关键词 ：透明导电膜 薄膜结构 光 电特性 禁带宽度 玻璃基 片 1 引言 导电薄膜是 SnO：F(FTO，参杂氟 的SnO 导 电薄膜玻 在全球气候变暖 、人类生态环境恶化 、常规能源 璃)薄膜，已经形成产业化生产。但 Fro薄膜有毒，价格 短缺并造成环境污染 的形势下 ，可持续发展战略普遍 昂贵，成本高，而且容易受到氢等离子体 的还原作用。 被世界各同所接受。其 I{l太阳能以其具有充分的清洁 新型 ZnO：AI(AZO，铝参杂的氧化锌薄膜玻璃)是一种 性 、绝对 的安全性 、资源的卡f{对广泛性和充足性 、长寿 典型的n型半导体薄膜 ，其禁带宽度接近 3．3eV，在 命以及免维护性等其它常规能源所不具备的优点，被 叮见光范围具有较高的透射率和低 电阻率 ，价格便 认为是 21世纪最重要的新能源 ，在这种背景下 ，太 阳 宜，原材料丰富，无毒，并 }L在高温条件下 ，其成分不易 能 电池得到迅速发展 。 与氯发牛互扩散 ，冈此它 活性氖和氢等离子体环境 当前基于 品砷或者多品硅硅 片的晶体硅 电池 中化学稳定性高，同时具有可 同FTO相 比拟的光电特 组什光伏市场 有率高达 90％，但是 ，品体硅 电池本 性，因此被广泛应用到硅基薄膜太 阳电池的研究 中。 身生产成本较高 ，组件价格居高不下 ，这为薄膜硅太 本文简述 _rAZO薄膜的导电机制 ，介绍 了其制 阳能电池的发展创造了机遇。与晶体硅太阳能电池相 备方法并总结各 自优缺点，最后对 AZO薄膜的研究 比，非品硅薄膜太 阳能电池最重要的优势在于成本优 趋势进行了展望。 势。但是当前大规模产、化 的非品硅薄膜太 能 电池 2 AZO薄膜光 电理论基础 转换效率只有 5％-7％，是 晶体硅太阳能 电池组件的 2．1 AZO薄膜的晶体结构 一 半左右 ，这在 一定程度 l限制了它的应崩范围，也 ZnO晶体属于六方品系 6mm点群 ，是一种极性 增加J，光伏系统的成本 。为了最终实现光伏发电的平 半导体 ，具有六角纤锌矿型品格结构 ，如图 1所示。这 价上网，必须进一一步降低非 晶硅薄膜太阳能电池的牛 种结构 ZnO的品格 常数是：a=0．3249rim，c=0．52056 产成本 ，囚此必须对 j}晶硅薄膜太 阳能电池开展持续 nm，配位数为 4：4。在纤锌矿 ZnO晶体 中，锌 (Zn)、氧 的研究 ，利用新技术 与工艺降低非品硅薄膜太 阳能电 (0)各 自组成一个六方密堆积结构 的子格子 ，这两个 池的成本 ，提高电池转换效率。 子格子沿 c轴平移0．385c。，形成复格子结构。每个锌 薄膜太阳能电池 P—I—N结前面有一层透 明导电 原子和最近邻的四个氧原子构成一个四面体结构 ，氧 膜 (TCO，transparentconductiveoxid