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Array Photo Aligner设备及工艺介绍 目录 1、曝光机介绍 1、曝光机介绍 MPA-7800的整体布局 3、曝光机的工作原理 4、关键控制要素 5、4Mask5Mask Process比较 5、4Mask5Mask Process比较 5、4Mask5Mask Process比较 5、4Mask5Mask Mask比较 5、4Mask5Mask Process比较 Production Engineering - Array Photo Confidential Change life with heart （公司保密信息 ，仅供内部学习，不得外传） Change life with heart Production Engineering - Array Photo BOE Optoelectronics Technology CO., LTD. （公司保密信息 ，仅供内部学习，不得外传） 2007.07.10 李焕杰 Production Engineering - Array Photo 目录： 1、Aligner设备介绍 2、Aligner设备的布局与构造 3、Aligner设备的工作原理 4、Aligner设备的关键控制要素 5、5 Mask与4 Mask区别 其工作原理和照相机相似。 曝光机的全称是Mirror Projection Mask Al