电化学沉积法制备薄膜、涂层材料研究进展.pdfVIP

20010．No．1 陶 瓷 ·57 · 。 { 麓 0 0 一 电化学沉积法制备薄膜、涂层材料研究进展 王 博 黄剑锋 夏常奎 (陕西科技大学材料科学与工程学院 西安 710021) 摘 要 概述了电化学沉积法的发展历史和优点。介绍 了电化学沉积法 的沉积机理和沉积方法 ，工艺条件与参数及其影 响因素。综述了电化学沉积在制备薄膜 、涂层材料方面的主要研究进展 ，并对未来 的研究方向进行了展望。 关键词 电化学沉积 薄膜 涂层材料 研究进展 学沉积的量 由 Faraday定律控 制，通过控制 工艺条 件 前 言 (如 ：电流 ，电位 ，溶液 pH值 ，温度，浓度 ，组成等)可精 确控制沉积层的厚度 ，化学组成和结构等 ；电化学沉积 电化学沉积是一种用来制备各种多晶薄膜和纳米 的速度可 由电位来控制 ，越大 的过 电位 ，沉积速度越 结构的液相方法，已经成功制备金属 、陶瓷材料 、半导 快 。因此 ，电化学沉积法设备投资少 ，工艺简单 ，操作 体、超晶格和超导体薄膜等材料 。金属电化学沉积 容易，环境安全 ，生产方式灵活，适于工业化生产 。， 早在 19世纪早期得到应用 ，电镀工艺至今也约有一个 是一种经济的沉积方法 。与之相 比，电化学沉积法制 世纪。随着科学技术的不 断发展和深入 ，电化学沉 积 备薄膜与涂层材料越来越引起研究学者的关注。 的研究领域不断拓宽和扩展 ，已迅速地发展成为具有 重大工业意义 的一 门技术 ，并 已获得 了巨大的成功。 1 电化学沉积法 传统的电沉积过程，如 Cu／Ni／Cr强调 的是装饰性和防 腐性。今天 ，具有特殊用途的镀层的研究、开发和应用 电化学沉积法既是一种化学过程 ，又是一种氧化 已成为科研的核心内容 。 还原过程。近年来 ，应用 电化学沉积法成功地制备了 在各种基体上制备具有超导、生物活性 、半导体电 金属化合物半导体薄膜 、高温超导氧化物薄膜、电致变 致变色、耐蚀 、耐热等特性 的薄膜、涂层从而形成功能 色氧化物薄膜及纳米金属多层膜 ，使这种新技术更加 复合材料 ，已经在高新技术领域得到广泛应用。目前 ， 引起科研人员的高度重视。 制备薄膜 、涂层 的方法主要有 ：等离子喷涂、物理和化 电化学沉积法是一种 电解方法镀膜的过程，它研 学气相沉积、溶胶 一凝胶法、原位反应法等，但这些方 究的重点是 “阴极 电沉积”。电化学沉积是在含有被镀 法存在设备复杂，不能大批量生产 ，成本高及所形成的 金属离子的水溶液(或非水溶液 、熔盐等)中通直流电， 复合材料有很高的残余热应力等不足之处。 使正离子在阴极表面放 电，得到金属薄膜 ¨。 电化学法制备薄膜与涂层材料具有以下优点：可 1．1 沉积机理 、 在各种结构复杂的基体上均匀沉积 ；适用于各种形状 1．1．1 阴极还原沉积机理 的基体材料，特别是异型结构件；通常在室温或稍高于 阴极沉积是把所要沉积的阳离子和阴离子溶解到 室温的条件下进行 ，因此非常适合制备纳米结构 ；电化 水溶液或非水溶液 中，同时溶液 中含有易于还原 的一 基金项 目：陕西科技大学研究生创新基金资助 · 58 · 陶 瓷 2010．No．1 些分子或原子团，在一定 的温度、浓度和溶液的pH值