一种压电致动微夹钳及其开环位移特性.pdfVIP

第 8卷 第 1期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．8 No．1 2010年 1月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Jan． 2010 一 种压 电致动微夹钳及其开环位移特性 王代华 ，杨 群 (1．重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室，重庆400044； 2．重庆大学光电工程学院精密与智能实验室，重庆400044) 摘 要：微夹钳是微装配与微操作过程中直接与被操作对象相接触的末端执行器，对微装配与微操作任务的完成 起着决定性作用．介绍了一种采用压电致动的微夹钳的工作原理、结构组成及实验原型 ，该微夹钳采用一种基于双 边和单边直圆柔性铰链的单片柔顺机构实现微位移传递／放大功能，同时实现微夹钳夹爪平行移动．针对本文研 究 和开发的一种微夹钳的原型建立了实验装置并进行了开环位移特性测试．实验结果表明，微夹钳的夹爪能够实现 平行移动 ，夹爪的输出位移与输入位移呈线性关系，且微夹钳单边夹爪输出位移最大可达 150 m． 关键词：微夹钳；压电叠堆执行器；柔顺机构；柔性铰链；位移放大倍数 ；夹爪平行移动 中图分类号：TP24 文献标志码 ：A 文章编号：1672-6030(2010)01-0047-07 A Piezoelectrically Driven M icrogripperand ItsOpen—Loop DisplacementCharacteristics WANGDai．hua ．YANGQun， (1．KeyLaboratoryofOptoelectronicTechnologyandSystemsoftheMinistryofEducation，ChongqingUniversity， Chongqing400044，China；2．PrecisionandIntelligenceLaboratory，CollegeofOptoelectronicEngineering， ChongqingUniversity，Chongqing400044，China) Abstract：Microgrippers，whichdirectlycontacttheoperatedobjectastheend—effectorsofthemicroas— semblyandmicromanipulationsystems，playacrucialroleinmicroassemblyandmicromanipulation．In thispaper，theoperationprinciple，structureconfigurationandexperimentalprototypeofapiezoelectri— callydriven microgripperwere introduced．A monolithiccompliantmechanism basedon single—notch right--circularflexurehingesanddouble--notchright--circularflexurehingeswasusedinthemicrogripperto amplify／transferthedisplacementofthepiezoelectricstackactuatorandtofacilitateparallelmovementof thegrippingjaws．Theexperimentalset—upwasbuilttotesttheopen-loopdisplacementcharacteristicsof