Ta2O5薄膜制备的研究现状及进展.pdfVIP

Tao 薄膜制备的研究现状及进展 ／陈胜龙等 ·25 · Ta2O5薄膜制备的研究现状及进展 陈胜龙，杨建广，高 亮 (中南大学冶金科学与工程学院，长沙 410083) 摘要 Ta205薄膜具有,IP-K的电学性能和光学性能，制备方法种类繁多，如溶胶一~ (Sol—ge1)、化学气相沉积 法、电子柬蒸发技术、溅射法、Ta层阳极氧化或热氧化法、离子辅助沉积法 (IBAD)、原子层沉积法(ALD)等。评述 了 现有各种制备方法的优缺点，综述了Taz()5薄膜各种方法制备的条件、薄膜的功能性质等 ，并评析了金属有机化合物 为前驱体制备性能优 良的Taz()5薄膜的前景。 关键词 Ta2()5 薄膜 制备方法 RecentSituationandProgressinPreparation ofTa2OsFilm CHEN Shenglong，YANGJianguang，GAo Liang (SchoolofMetallurgicalScienceandEngineering，CentralSouthUniversity，Changsha410083) Abstract Ta205filmspossessgoodelectricspropertiesandopticsproperties．Currently，thepreparationme- thod sareclassifiedassol—gel，CVD ，ALD andSOon，themeritsanddemeritsofthosemethodsarediscussed，thecon— trollingconditionsofthesefabricationmethodsandtheas—synthesizedfilm Spropertiesaresummarized．Finally，the prospectofusingthemetal—o‘rganiccompoundasprecursortoprepareexcellentperformanceTa2Osfilmsisalsointro—— duced． Keywords Ta205，thinfilms，preparationmethod 0 引言 1 制备Ta205薄膜的主要方法 Ta。O 薄膜因具有 良好的电学性质和光学性质，近年来 1．1 溶胶一凝胶法 在光波导材料和介 电材料方面得到非常广泛 的运用 。在光 溶胶一凝胶法是指金属有机或无机化合物经过溶液、溶 波导材料方面 ，TaO 薄膜具有透过可见光和近红外光而对 胶、凝胶而固化，再经热处理制备成氧化物或其它化合物固 红外光发生发射的光学特点，此外在可见光谱 区内，Ta：O 体的方法 。 材料具有较高的折射率和较低的吸收率 ，并且具有较宽的光 溶胶一凝胶法有浸渍法 (Dipping)、旋覆法 (Spinning)、喷 涂法(Spraying)和简单刷涂法 (Painting)等。常用 的是浸渍 谱透过范围(300nm~10~／m)，因此 Ta。0 薄膜可应用在液晶 法和旋覆法 ，这 2种方法各有优缺点，可根据基底材料 的尺 显示、增透膜、激光器、光通信 、太 阳能晶片等元器件上_l]。 寸、对所制薄膜的要求而选择。图 1为以乙醇钽为原料，采 在介电材料方面，与 SiO。相 比，TaO 具有很高的介 电常数