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稳定化预热处理对 C／SiGN蠕变行为的影响／夏 熠等 ·5 · 稳定化预热处理对 C／SiCN蠕变行为的影响 夏 熠，乔生儒 ，王强强，张程煜 (西北工业大学超高温结构复合材料实验室，西安 710072) 摘要 研究了碳纤维增强 SiGN 陶瓷基复合材料 (C／SiGN)在真空中的拉伸蠕变行为，通过对比预热处理和未 热处理的两类C／SiCN的蠕变激活能，分析 了预热处理的稳定化效果，并采用X射线衍射研究了C／SiCN的蠕变相变 行为。结果表明，预热处理促进了非晶SiCN基体的结晶，能明显提升C／SiCN 的蠕变激活能(Q)，未热处理 c／sicN 的Q一5lkJ／oto1．而热处理后试样 的Q一72kJ／mol。恒定蠕变应力能明显促进非 晶SiCN基体的结晶。 关键词 非晶SiGN陶瓷 蠕变 蠕变激活能 晶化 中图分类号 ：TB332 文献标识码 ：A EffectofPre-stabilizationofC／SiCNonItsTensileCreepBehavior XIA Yi，QIAO Shengru，WANG Qiangqiang，ZHANGChengyu (NationalKeyImboratoryofThermostructureCompositeMaterials，NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xi’an710072) Abstract ThetensilecreepofcarbonfiberreinforcedSiCNceramicsmatrixcomposite(C／SiGN)undervacuum isstudied．Thecreepactivationenergyoftheas—receivedandpre-stabilizedC／SiCN iscomputedandcompared，re— spectively，andtheeffectofpr stabilizationisanalyzed．ThephasetransitionofC／SiGN duringcreepisexaminedby X raydiffraction．TheresultsindicatethatproannealingpromotesthecrystallizationofamorphousSiGN ceramicsma— trix，andfacilitatesincrementoftheactivationenergyofC／SiGN．ThecreepstressactedonC／SiGN acceleratesthe crystallizationofamorphousSiGNceramicsbyproducingstressfieldwithinC／SiGN． Keywords amorphousSiGN ceramics，creep，creepactivationenergy，crystallization 0 引言 1 实验 非晶 SiGN 陶瓷具有优异的光 电性 能，真空热稳定性 1．1 原料及试验方法 高 ]，在微电子机械系统(MEMS)中极具应用前景=[2 ，能够 选用韧性 良好 的C／SiGNc为试验用材 。将试样分为 2 克服传统 MEMS材料不能在高温环境 中应用的局限性～ 。 组 ，一组为未热处理原样 (标号 ：NHTCS)，另一组经过热化 但 当温度过高时，非晶SiGN会发生分解、结晶，质点(Si一、 、 处理(真空 1900。C保持 0．5h)试样 (标号：HTCS)。试验用标 N一)重排形成局部 晶化 区域 ，最终形成 SiGN非 晶和 sic／ 样外观见图 1，蠕变应力为 40MPa，试验温度选取 1100℃、 sc 微晶的混合体 。文献Es]的研究表 明，SiGN中质点的 1300C和 1500℃ 3个温度点，总的反应时间为 25h，试验环