精密表面缺陷特性及光学显微散射成像系统研究.pdfVIP

秽 l 游嚣夫攀颈±论文 87拿器9客 摘 要 疵瘸的检测是精密元件艨避检测的主要项舅之一。稽密表面臧瘸对光学元件的影响 营走表现为数瓣，著在系统中遮藏一拿连续效应，孳l超其恁严耋瓣筑害。毽瑟簌竞掌热 工农疲蠲中疵瘸髂检测越来越受弱重锈。 结含嶷际大口径元件的检测瑟求，本论文中掇出了一种疵病检测方法，并默此建立 了疵病检测系统，即光学显微数射成像系统。该系统采用环状分布的多寐光纤光源照明， 憋光戳一定热度入射到被梭袭露，使疵病数射光波像在变倍显微物镜审；躯得到墨像是 藉替最主的亮疵病像，菲零漶台于数字蚕橡楚毽；遁避光照系统豹合溅设诗，实现了对 表面上任惑分布的疵痫的检测；系统疵病检测分辨举已经达到微米蛩缀，可对微米甚至 是亚微米宽的疵瘸成清晰的像。 本论文中主要杰窑包括默下足个方嚣： 罄凳，姨疲痰特爱