基于方棱镜的大错位电子散斑干涉形貌测量技术.pdfVIP

200 9年12 月 山东师范大学学报( 自然科学版) Dec ．2009 第24卷第4期 J our nal of Shandong Nor ma l Uni ve r si t y( Nat ur al Sci enc e) v01．2 4 No．4 基于方棱镜的大错位 电子散斑干涉 形貌测量技术 孙平 1’ 于立国1’ 高秀梅2 ’ ( 1) 山东师范大学物理与电子科学学 院，2500 14，济南 ； 2) 济南市铁道职业技术学院电气工程系 ，2 500 1 ，济南 ∥第一作者46岁，男，博上 ，教授) 摘要分析了方棱镜的剪切原理，提出了利用方棱镜作为剪切元 件的大错位电子散斑干涉形貌测蕈技术．利用方棱镜作为 剪切元件，对被测物体进行微小偏转 以引入载波条纹，通过CCD摄像机采集载波条纹图，利用傅里叶变换法解词可得到物体高度 的位相信息 ，从而 实现物体的形貌测量 ． 关键词 电子散斑干涉 ；大错位方棱镜 ；形貌测量 中图分类号04 8 文献标识码A doi ：10 ． 969 ／j ．i ss n ．100 1—4748 ．2009 ．04 ．04 电子散斑干涉测鼍 ¨。1技术可以精确测量物体 的变形场，具有精度 高、非接触 、对隔震要求低等优 点，在物体的静、动态测 量 中得到广泛应用．利用大错位 晶体棱镜(Wol l a st on棱镜) 的电子散斑干涉技术则可 以实现散斑干涉的位移测量 ，具有系统简 单、不需要专 门弓I 人参考光等优点．利用大错位晶体棱镜 的电子散斑干涉技术又称大剪切电子散斑b “’干涉技术，为三维位移 测量提供 了一种有效手段 ．但是利用大错位 晶体棱镜的电子散斑干涉技术也有不足之处：若大错位 晶体棱镜的分束角度较小 ( 小于5 。) ，虽然干涉效果较好，可需要较远的成像距离 ，对面内位移 的测磺灵敏度较低 ．若大错位晶体棱镜的分柬角度比较大 ( 大于5 。) ，可 以在 比较近的距离成像 ，但是干涉条纹质量很差或者很难实现干涉．从制作大错位 晶体棱镜所用材料来看，由于 。方解石‰一 ／ g 。的值比较大，用来制作大错位 晶体棱镜的只有方解石晶体比较合适，但方解石晶体很昂贵 ．针对现有利用大错 位 晶体棱镜 的电子散斑干涉技术中存在 的不足 ，提供一种成本低 、效果好 的实现 电子散斑干涉 的大错位方棱镜． 本文介绍了大错位方棱镜及其剪切机理 ，并实现 了对物体的大错位电子散斑干涉形貌测量 - 8J ’ 1方棱镜的剪切机理 如图1和图2所示，大错位方棱镜 由普通光学玻璃磨制的二个直角三角棱镜 组成，其 中一个直角三角棱镜 的斜面上镀有半透半反膜，这二个直角三角棱镜的 斜面用光学胶粘合在一起形成方棱镜 ，该方棱镜的一个反射面是磨去一个楔角Ot 的斜面，Of ．在1。到5 。之间，方棱镜 的入射光所在的面和出射光所在的面镀有增透 膜 ，两个反射面均镀有全反射膜 图中，l 表示第一反射面 ，2表示第二反射面 ， 表示入射面，4表示 出射面 ． 上述方案将方棱镜 的一个反射面 由原来 的直面磨去一个楔角Ot 后变为斜面， 这样入射 的光线经过非直角反射 ，出射 的二束光线就分开 了．方棱镜 的大小尺寸 图l 大错位方棱镜的结构及光路示意 图 可根据成像透镜 的口径来定 ．如果方棱镜反射面磨去的角度是Ot ，则棱镜 的光束 分开的角度(分束角) 是2a ．根据成像的距离和试件 的大小尺寸，a 的大小可选择在l 。到 5 。之 间． 2大错位电子散斑干涉载频调制形貌测量原理 ． 2 ．1大错位电子散斑干涉 原理正入射的光束经过方棱镜产生两个错位的像，将方棱 镜置于CCD摄像机镜头前面( 见囹 ) ，若方棱镜的错位角很大，则物体 自身由于错位而 在CCD靶面形成的两个像完全分离，而与参考物的一个像相叠加 ．当入射光同时照射在 l 被测物体和参考物体上，用 大错位棱镜可以使CCD摄像机同时接受物光和参考光的信