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摘 要
随着电子工业的飞速发展，静电在电子产品的生产和使用中的危害日趋严重，造
成不可估量的经济损失。以美国为例，电子工业部门每年因静电造成的损失高达100
亿美元。在电子工业中，静电危害主要表现为静电放电.静电放电会使电子元器件失
效或存在隐患，甚至使电子产品完全损坏。
本论文从静电放电的机理入手，论述了在芯片生产过程中静电皎电产二生的原因以
及对电子产品的危害，并重点讨论了芯片希}1造车间静电测试的理论与实践。在此勤出
上，以在上海贝岭股份公司的实际测试工作为依据，介绍了在老化车间、换(试车间、
半成品仓储车间及成品仓储车间等防静电工作区中各种器材进行的测试数据，并刘rIm1}1
试结果进行了简要的M古，提出了一些技术性建议。
论文中还介绍了电子工业中静电放电的三种主要试验模型:人体模型、机器模型
和带电器件模型以及静电放电敏感器件的分类标准，还提出了静电放电防护区的设计，
思想和离子风机的发展趋势，从而为进一步探索与完善IC制造工艺中ESD综合防治对
策奠定技术基础。
关键词:静电放电，静申.放电敏感器件，静电放电模型，静申.放电防护区，离子Fxm
ABSTRACT
Withthehighdevelopmentofelectricindustry,theharmcausedbythe
staticbecomesmoreandmoreseriousintheprocessesofproducingand
usingelectricproducts,anditbringsinestimableeconomicloss.InAmericafor
example,thelosscausedbystaticreaches10billiondollarseveryyearin
electricindustry.Itisjusttheelectrostaticdischarge(ESD)resultintheharm.
ESDcanmaketheelectronicunitsincapableorleadtohiddentrouble,and
evendamageelectronicproductscompletely.
StartingfromtheprincipleofESD,thispaperdiscusseshowtheESD
comesintobeinganditsharmtoelectronicproductsintheprocessofchip
producing,andespeciallydiscussesthetheoryandpracticeofelectrostatic
testinthechipsmanufacturingworkshop.Basedonthis,theauthordidsome
test-workinShanghaiBellingCo.Ltd.,mainlyabouteverytypeofequipments
intheelectrostaticdischargeprotectedareainsomeworkshops(including
artificialagingworkshop,testingworkshop,semi-finishedarticlesstorage
workshopandfinishedarticlesstorageworkshop,etc).Thispaperestimates
allthetestdataandputsforwardsometechnicaladvices.
ThispaperalsointroducesthreekindsofESDmodelintheelectric
industry:humanbodymodel(HBM),machinemodel(MM)andchargeddevice
model(CDM)andclassificationstandardofESDsensitivedevice.Italsoputs
forwardtheideaofdesigningtheESDprotectingareaandthedeveloping
treadofionizer.SowecouldsettlethetechnicalbaseforthesyntheticallyESD
countermeasureofICmanufacturinginmoresearchingand
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