高等级量块自动激光干涉测量系统研究.pdf

堕兰兰篁笙兰 壹竺堡星鉴旦垫堂堂!鲨型里墨竺!墅墅翌——————～—————上 摘要 ／ L随着我国加入世界贸易组织的f临近，以及适应我国经济的发展，因此，我 de Standards International Legale))及相关国际标准接轨。为此，我国修订了原量块部颁标准 Metr0109ie 为量块国家标准，修订了原量块国家计量检定规程，并制定了一个适用于全量 05+05 量块，长度测量不确定度为D=(O XL)Fm，其中￡的单位均为m。这样t 原有的光机型计量测试仪器——柯氏干涉仪己不能适应新标准的需要，迫切需 要研制新型的高精度测量仪器。第九个五年计划期间，原国防科工委立项，由 由国防第一计量测试中心研制《激光量块干涉I望如上海市计量测试研究院立项 技术改造柯氏干涉仪为光、机、面算相结合融软、硬件一体的仪器(下称新 型柯氏干涉仪)。前者将用于新的1等量块测量，后者将用于新的2等量块测量。 导师项目组协作参加该两项的科研工作，本论文是以此为背景就某些学术技术 关键问题开展研究，撰写论文。 量块激光干涉仪采用了稳频的He．Ne激光器作光源，经光纤传输光线进入 干涉仪作为测量波长，CCD接收干涉图像，自动图像处理系统分析处理干涉条 纹图像，被测量块长度经量块温度和环境参数修正诸擎后，给出量块检定的测 量结果，完成一个量块自动化、智能化的测量过程。脸文中研究应用移相干涉 术测量新的I等量块的方法。对干涉图像进行多蝠笪∞采样，由移相法计算量 块测量面和与其研合的辅助钢平晶表面的波面面形，尤其研究了在量块干涉图 中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术，得到一幅表征它们的离散波差 值，再把离散波差值拟合为连续、光滑曲面表示的波差值数据，计算量块测量 面上任意点的干涉条纹小数韶分，并经量块温度和环境参数自动修正后，从而 得到被测量量块的测量结果。(-读数是客观的，测量过程是自动的，提高了测量 效率。作者参加了我国第一台新的l等量块测量仪器的研制，完成一套应用移 相干涉术的量块长度测量的软件系统，给出被测量块测量面的面形波差，提供 协作单位作为参考应用技术基础。，把移相干涉术应用到量块测量，这在我国量 块测量技术上是一个新的创举。y 论文中研究了新型的柯氏光波干涉仪用于翌熳新的2等量块的测量系统。 633F f系统改用两只稳频的诼五确宪器弋蔼}警：疗i，-om和^，：o543Ⅳ脚)作 为测量波长，替代原有的光源氪(Kr)等光谱辐射灯，大大改善了干涉条纹的亮 度和对比度，论文中研究了量块测量中干涉条纹的分析识别技术，创新地利用 数字图像处理技术和频域FFT方法分析处理干涉条纹，去除噪声，缅：cE手i夏j■ 纹-拜百芴读取重蕻舜面苌茇两手话磊历习蔼F1翮．判读，发展到光电蒜测。， 图像处理，定量测量，提高了读数分辨率和测量不确定度，自动的双波长小数 如妁Ⅻj篆．． 摘要 2000年10月 重合法计算量块的中心长度，并实时地读取环境参数(空气压力，大气压力， 水蒸气压力(绝对湿度))以及量块温度，对测量结果，修正计算后，最后得到 被测量块的中心长度，干涉仪测量系统完成一个自动的测量量块中心长度的过 程，提供了一套工程化应用的计量测试软件，基本上满足并解决了新的2等量 块检测时对量块中心长度自动激光干涉测量的要求。、卜一7 “ 一 ＼／ V 粼≯计量一沙环移澎相够耗秒一缈 稳频激光． o 堕主兰笙堕茎 壹竺堡里鉴!垫堂堂三鲨型呈墨竺堕堕至———————————旦 Abstract