超快激光开辟加工应用新天地.docVIP

超快激光开辟加工应用新天地自1960年代激光技术问世以来，其应用范围早已愈来愈广，激光在加工方面具有加工精细、生产效率高、适用范围广及易自动化等优点，因此对很多应用产业包括印刷电路板、太阳能电池和平面显示器产业等，特别具有影响力。而受近年3C产品朝向「轻薄短小」与「多功整合」发展趋势影响，「微制程」更成为电子产业再升级的关键，而激光具有可在物件极微小区域范围内进行加工动作的特性，可用来取代一些传统制程所无法完成的工作项目，因此特别受到广泛注目。 　　微激光加工制程技术依激光光脉冲宽度可区分为：飞秒级（fs）、皮秒级(ps)及奈秒级(ns)激光等，深圳市星鸿艺激光科技有限公司激光打标机，激光焊接机,深圳激光打标机,东莞激光打标机一般次皮秒级和飞秒级属於超快激光加工。飞秒级激光由美国Clark-MXR公司生产的激光加工机为主，产品尺寸精度可达奈米等级(约50nm)。相较於传统激光(奈秒级)容易发生热效应的微裂缝、融熔残渣、重铸区、精度差的缺点，飞秒激光所具备的超强、超快、超微物理特性，使其在IC半导体、显示器、生医、太阳光电、微机电等产业深具突破性的应用潜力。 　　超短脉冲激光(或称超快激光)之所以能达成高品质之微加工制程乃因於此超短脉冲於加工物质上的作用机制。超短脉冲的光交互作用机制与传统激光脉冲完全不同，以下我们将基於相同的微加工过程而唯有脉冲时间不同的基础下做详细比较。 　　首先