MEMS三维静动态测试系统.pdfVIP

维普资讯 电 子 ·嫩 光 第 16卷 第 5期 2005年5月 JournalofOptoelectronics·Laser Vo1．16No．5 May2005 MEMS三维静动态测试系统 谢勇君一 ，白金鹏 ，史铁林 ，刘 胜 (华中科技大学机械学院微系统研究 中心，湖北 武汉 430074) 摘要 ：采用集成频闪成像 、计算机微视觉和显微干涉技术，研制了微机 电系统 (MEMS)三维静动态测试 系统 。系统可进行 MEMS面内刚体运动、表面形貌 、垂 向变形和离面运动的测量。对于面内运动测量 ， 提出了基于立方样条插值的亚像素步长相关模板匹配算法 ，从 MEMS视觉 图中提取面内位移，匹配精 度为0．02pixels。对于离面运动测量 ，采用 Hariharan5步相移干涉 (PSI)算法和去包裹算法，离面运动 测量分辨率可达