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微细电火花加工技术与发展趋势 于同敏 黄晓超 (大连理工大学机械工程学院模具研究所 大连 116023) 摘要：本文简要的介绍了微型制件及微型模具的定义和分类，并着重介绍了应用于微型模具型腔加工的微细加工技术—微细电火花加工。总结了微细电火花的发展趋势和关键技术。 关键词：微注塑模具 微细电火花 关键技术 Technology of Micro Electrical Discharge Machining and Its Development Trend YU Tongmin HUANG Xiaochao (Institute of Die and Mould of School of Mechanical Engineering of Dalian University of Technology, Dalian 116023 ) Abstract: The division and definition of micro part and micro mould were introduced in this paper. Emphsis was given to illustrate the micro-machining technology of mould cave manufactureng — Micro electrical discharge machining(M-EDM) . A conclusion of the development trend and key technology of MEDM was made in this paper. Key words：Micro-injection mould Micro-EDM Key technology 0 前言 为了满足塑料制件在各种工业产品中的使用要求，塑料成型技术正朝着复杂化、精密化、微小化等方向发展，例如应用于微机电系统的微马达、微小齿轮以及应用于生物工程领域的细胞培养皿和微流控芯片等的成型。除了必须研发或引进微型和精密成型设备外，微小且精密的塑料成型模具更是需要采用先进的模具CAD/CAE/CAM技术来设计制造，并运用各种先进的加工手段。 微型模具的制造主要通过微细加工，目前的微细加工方法主要有：①微细切车削、铣削和磨削等；②微细特种加工如：电火花、电化学、激光、超声波、离了束和电了束等；③光刻、蚀刻和LIGA技术。其中微细电火花加工应用最为广泛，也是近年来研究的重点方向之一。 1 微型模具 1.1 微型模具的定义 应用微细加工方法制作微型模具，再通过微型模具成形微型制件，具有生产效率高、制件尺寸稳定性好的优点。因此，近年来关于微型模具制造技术的研究普遍受到人们的关注。但到日前为止，对于微型模具，也没有统一的定义，通常人们习惯于在尺寸和制造精度上来进行限定，即微型模具在尺寸和制造精度上可有如下儿个非约束性的特征(主要指微型模具的成形部分)：①成形的制件体积可达1mm左右；②微观尺寸从几微米到儿百微米；③模具表面粗糙度值在0.1m以下；④模具制造精度从lm到0. lm。但随着微机械及微细加工技术的发展，这些特征参数值在不断减小。 1.2 精密微型模具的分类 微型模具按照成形制件的不同可分为以下儿种类型: (1)微冲压类模具 多用于金属和塑料板材的成形，包括微冲切模具和微弯曲模具等。日本东京大学生产技术研究所进行的微冲压加工，已在50m厚的聚酞胺塑料板材上冲出了宽度为40m的非圆截面微孔。 (2)微锻造模具 微型锻造制件尺寸多在毫米量级以上，尺寸精度可以达到IT7～IT95～100m5 m的电极来说，放电面积不到20m在这样小的面积上放电，放电点的分布范围十分有限，极易造成放电位置和时间上的集中，增大了放电过程的不稳定，使微细电火花加工变得困难。 (2)单个脉冲放电能量很小。为适应放电面积极小的电火花放电状况要求，保证加工的尺寸精度和表面质量，每个脉冲的去除量应控制在0.10～0.01m10～10J(Wire Electrical Discharge Grinding WEDG) 出现以前，微细电极的制造与安装一直是制约微细电火花加工技术发展的瓶颈问题。从目前的应用情况来看，采用WEDG技术能很好地解决微细工具电极的制备问题。为了获得极细的工具电极，要求具有高精度的WEDG系统，同时还要求电火花加工系统的主轴回转精度达到极高的水准，一般应控制在1m以内。 (5)排屑困难，不易获得稳定火花放电状态。由于微孔加工时放电面积、放电间隙很小，极易造成短路，因此欲获得稳定的火花放电状态，其进给伺服控制系统必须有足够的灵敏度，在非正常放电时能快速地回退，消除间隙的异常状态，提高脉冲利用率，保护电极不受损坏。 2.