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第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 电容式传感器是将被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器。结构简单、高分辨力、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作，这是它的独特优点。随着集成电路技术和计算机技术的发展，促使它扬长避短，成为一种很有发展前途的传感器。 第4章 电容式传感器 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，当忽略边缘效应影响时，其电容量与真空介电常数ε0 (8.854×10－12F/m)、极板间介质的相对介电常数εr、极板的有效面积A以及两极板间的距离δ有关： ???????????? (4-1) 若被测量的变化使式中δ、A、εr三个参量中任意一个发生变化时，都会引起电容量的变化，再通过测量电路就可转换为电量输出。因此，电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型 。 第4章 电容式传感器 图4.1为这种传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数，初始极距为δ0 ，由式(4-1)可知其初始电容量C0为 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 略去高次项，可得近似的线性关系 第4章 电容式传感器　 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 这种电容传感器有较多的结构型式，可以用来测量纸张、绝缘薄膜等的厚度，也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体物质的湿度。 图4.8为原理结构。图(a)中两平行极板固定不动，极距为δ0，相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中，从而改变两种介质的极板覆盖面积。传感器的总电容量C为两个电容C1和C2的并联结果。由式(4-1) 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 1.优点： Ⅰ.温度稳定性好 电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。 而电阻传感器有铜损等，易发热产生零漂。 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 图中C为传感器电容，Rp为低频损?耗并联电阻，它包含极板间漏电和介质损耗；Rs为高湿、高温、高频激励工作时的串联损耗电组，它包含导线、极板间和金属支座等损耗电阻；L为电容器及引线电感；Cp为寄生电容，克服其影响，是提高电容传感器实用性能的关键之一，下面专门讨论。可见，在实际应用中，特别在高频激励时，尤需考虑L的存在，会使传感器有效电容 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 在设计电容式传感器时，适当选择材料及有关结构参数，可以满足温度误差补偿要求。 ⑵.温度对介质的影响 温度对介电常数的影响随介质不同而异，空气及云母的介电常数温度系数近似为零；而某些液体介质，如硅油、蓖麻油、煤油等，其介电常数的温度系数较大。例如煤油的介电常数的温度系数可达0.07%/℃；若环境温度变化±50℃，则将带来7%的温度误差，故采用此类介质时必须注意温度变化造成的误差。 第4章 电容式传感器 电容式传感器将被测非电量变换为电容变化后，必须采用测量电路将其转换为电压、电流或频率信号。 4.3.1.变压器电桥 如图4.13所示，C、C2为传感器的两个差动电容。电桥的空载输出电压为 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 该电路适用于各种电容式传感器。它的应用特点和要求： (1)电源、传感器电容、负载均可同时在一点接地； (2)二极管D1、D2工作于高电平下，因而非线性失真小； (3)其灵敏度与电源频率有关，因此电源频率需要稳定； (4)将D1、D2、R1、R2安装在C1、C2附近能消除电缆寄生电容影响；线路简单； (5)输出电压较高。 4.3.3.脉冲调宽电路 图4.15为一种差动脉冲宽度调制电路。 第4章 电容式传感器 当接通电源后，若触发器Q端为高电平(U1)，端为低电平(0)，则触发器通过R1对C1充电；当F点电位UF升到与参考电压Ur相等时，比较器IC1产生一脉冲使触发器翻转，从而使Q端为低电平，端为高电平(U1)。此时，由电容C1通过二极管D1迅速放电至零，而触发器由端经R2向C2充电；当G点电位UG与参考电压Ur相等时，比较器IC2输