ZZSX-550技术资料.docVIP

ZZSX-550型电子束镀膜机技术配置 1. 真空室工作尺寸：550×550×680（宽×深×高）mm，全不锈钢箱体，真空室四周配有防污染不锈钢屏蔽板，抽气口挡板为活动式，方便拆卸和清洗，在真空室底板上装一个低压照明灯，便于观察工作情况。真空室内表面抛光处理，外表面喷丸处理。真空室门做二个观察窗，其中一个观察窗用于观察电子枪工作状态,内有遮挡活动板，以便随时打开遮挡板观察电子枪工作状态，外配有可翻转的暗色玻璃，X射线防护符合国家标准,另外一个观察窗用于观察工件旋转情况, 遮挡活动板若对旋转有影响可不带,但须有防污染的保护玻璃。真空室及高阀都有冷却水管，保证冷却效果。 2. 极限压力：≤5×10-4Pa. 3. 恢复工作时间：真空室内测量的工作压力从1×105Pa至2×10-3Pa≤25min. 4. 工件架、烘烤： 工件旋转采用无级变频调速，转速：5—25r/min连续可调。拱形工件盘直径φ500mm,最大工件高度为230 mm,工件盘上方留出该空间.两个工件盘,其中一个工件盘按用户要求打出孔(工件装卡用户解决), 另外一个工件盘不打孔（可按客户要求开孔） 碘钨加热器下烘烤，数显智能温控仪控温，最高温度350℃。 烘烤功率：4.5KW 5. 真空系统： 气动阀门，电磁换向阀控制； 配置：FB-1600/250分子泵（抽速1600/s） 预抽泵：TRP-60直联机械泵（抽速18L/s）。 维持泵：2XZ-2直联机械泵（抽速2L/s） 真空控制具有互锁保护系统，有断水、断相自动报警功能。 6. 电子枪：按单枪单电源配置。 e型磁偏转2700电子枪，四穴坩埚，每个容积20ml，电动换位，面板有位置显示。 功率：6kw；加速电压：6kv、10kv两档可切换，束流：0~0.6A可调，Y方向偏转，X、Y方向扫描。配手持控制盒。 7. 电阻式热蒸发，2组蒸发源可分别蒸发，功率：2.5KW，电压：5V、10V 8. 膜厚控制： 光学膜厚控制系统 (1)．波长范围：380—760nm（可扩展至1100nm）。 (2)．膜厚控制仪：CA-6E数显放大器 (3)．单色仪：WDG-30型光栅单色仪。 (4)．光路系统：垂直光路、透射/反射光源。 (5)．换片机构：六位比较片，且1—6位位置应能在控制面板上显示。 (6). 输出方式：光纤耦合输出。 (7). 探测器：光电倍增管。 9. 真空系统测量：配置数显复合真空计ZDF-5227型。 10. 离子辅助蒸发源：（客户自备需预留安装位置） (1)霍尔型离子源（中科九章）， (2)质量流量计一套（七星华创）； 11. 真空控制、烘烤、旋转采用PLC实现自动控制 操作方式：手动/自动 12. 对安装场地要求： 设备占地：宽×深×高（米）：约2.6×2.5×1.9 冷却水：相当于城市自来水，水温≤250C，压力0.2~0.25Mpa. 压缩空气：干燥的压缩空气，压力0.5~0.8Mpa. 电力供给：三相380V，频率50Hz。 接地电阻＜3Ω， 容量：25kW. 13. 售后服务 (1)免费安装调试（在甲方）负责培训甲方操作人员，并确保设备能在甲方正常使用；保修一年，终生维修，提供技术和配件支持。 (2)该设备在保修期间内出现故障，甲方告之乙方后，乙方应在12小时内给予响应，如需现场维修，乙方应在36小时内到达现场维修。 提供配件： 橡胶密封件1套，规管1套，灯丝30支 14. 交货周期：90天 15. 价格：30.5万 16. 合同签定生效后，需方向供方支付40％货款，供方即给安排生产，设备产成后运货到需方安装调试合格后15日内付清余款。 北京奥博瑞特真空技术有限公司 2012年2月29日