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第四章 机电一体化检测系统 第一节 概 述 检测系统是机电一体化产品的一个重要组成部分，是用于检测相关外界环境及产品自身状态，为控制环节提供判断和处理依据的信息反馈环节。机电一体化系统中，检测系统所测试的物理量一般包括：温度、流量、功率、位移、速度、加速度、力等。由于机电一体化系统是以电信号为信息传输和处理的媒体，且控制系统的输入接口往往规定了特定的信号形式（如数字信号、直流信号、开关信号），因此，检测系统通常要用传感器将被测试的物理量变为电量，再经过变换、放大、调制、解调、滤波等电路处理后才能得到控制系统（或显示、记录等仪器）需要的信号。本章重点介绍各种机电一体化系统中常见物理量检测的方法和测试系统的工作原理以及传感器的信号处理、接口技术等。 一、检测系统的组成 机电一体化产品中需要检测的物理量分成电量和非电量两种形式，非电量的检测系统系统有两个重要环节： 1、把各种非电量信息转换为电信号。这就是传感器的功能，传感器又称为一次仪表。 2、对转换后的电信号进行测量，并进行放大、运算、转换、记录、指示、显示等处理，这叫作电信号处理系统，通常被称为二次仪表。机电一体化系统一般采用计算机控制方式，因此，电信号处理系统通常是以计算机为中心的电信号处理系统。综上所述，非电量检测系统的结构形式如图4-1所示。 图4-1 非电量检测系统的结构形式 对于电量检测系统，只保留了电信号的处理过程，省略了一次仪表的处理过程。 二、传感器的概念及基本特性 传感器是一种以一定的精确度将被测量转换为与之有确定对应关系的、易于精确处理和测量的某种物理量（如电量）的测量部件或装置。通常传感器是将非电量转换成电量来输出。传感器的特性（静态特性和动态特性）是其内部参数所表现的外部特征，决定了传感器的性能和精度。 1、传感器的构成 传感器一般是由敏感元件、传感元件和转换电路三部分组成，如图4-2所示。 图4-2 传感器组成框图 （1）敏感元件 是一种能够将被测量转换成易于测量的物理量的预变换装置，而输入、输出间具有确定的数学关系（最好为线性）。如弹性敏感元件将力转换为位移或应变输出。 （2）传感元件 是将敏感元件输出的非电物理量转换成电信号（如电阻、电感、电容等）形式。例如将温度转换成电阻变化，位移转换为电感或电容等传感元件。 （3）基本转换电路 将电信号量转换成便于测量的电量，如电压、电流、频率等。 有些传感器（如热电偶）只有敏感元件，感受被测量时直接输出电动势。有些传感器由敏感元件和转换元件组成，无需基本转换电路，如压电式加速度传感器。还有些传感器由敏感元件和基本转换电路组成，如电容式位移传感器。有些传感器，转换元件不只一个，要经过若干次转换才能输出电量。大多数传感器是开环系统，但也有个别的是带反馈的闭环系统。 2、传感器的静态特性 传感器变换的被测量的数值处在稳定状态时，传感器的输入/输出关系称为传感器的静态特性。描述传感器静态特性的主要技术指标是：线性度、灵敏度、迟滞、重复性、分辨率和零漂。 （1）线性度 传感器的静态特性是在静态标准条件下，利用一定等级的标准设备，对传感器进行往复循环测试，得到输入/输出特性（列表或画曲线）。通常希望这个特性（曲线）为线性，这对标定和数据处理带来方便。但实际的输出与输入特性只能接近线性，对比理论直线有偏差，如图4-3所示。实际曲线与其两个端尖连线（称理论直线）之间的偏差称为传感器的非线性误差。取其中最大值与输出满度值之比作为评价线性度（或非线性误差）的指标。 图4-3传感器线性度示意图 1、实际曲线 2、理想曲线 （4-1） 式中： ——线性度(非线性误差)； ——最大非线性绝对误差； yFS——输出满度值。 （2）灵敏度 传感器在静态标准条件下，输出变化对输入变化的比值称灵敏度，用S0表示，即 (4-2) 对于线性传感器来说，它的灵敏度S0是个常数。 （3）迟滞 传感器在正(输入量增大)、反(输入量减小)行程中输出/输入特性曲线的不重合程度称迟滞，迟滞误差一般以满量程输出yFS的百分数表示 (4-3) 式中 △Hm——输出值在正、反行程间的最大差值。 迟滞特性一般由实验方法确定，如图4-4所示。 （4）重复性 传感器在同一条件下，被测输入量按同一方向作全量程连续多次重复测量时，所得输出/输入曲线的不一致程度，称重复性如图4-5表示。重复性误差用满量程输出的百分数表示，即