纳米薄膜弹性模量的度效应及其物理机制.docVIP

纳米薄膜弹性模量的尺度效应及其物理机制 梁立红, 马寒松, 魏悦广 （中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室，北京100190） 摘要 纳米薄膜在太阳能转换和微电子技术等领域有着广泛的应用前景，薄膜的弹性性能对设备和器件的稳定性有重要的影响。研究已发现纳米材料和薄膜的许多物理性能和相应的块体材料不同，当薄膜厚度只有几个纳米时，弹性模量可能展示出明显的尺度效应，建立一个关于弹性模量尺度效应的有效的理论模型将对指导薄膜和纳米材料的应用具有重要意义。本文基于纳米晶体本征晶格应变和结合能变化的物理机制，推导了一个关于纳米晶体和薄膜尺度依赖的弹性模量方程，并揭示了纳米材料弹性与振动性能的内在关联。基于该方程，本文对一些金属及半导体薄膜的弹性模量进行了理论预测，结果与他人的计算机模拟和实验结果符合的较好。 关键词：弹性模量，纳米晶体，晶格应变，结合能 0 引言 近年来随着人们对纳米材料包括纳米粒子、纳米线、纳米薄膜等不断的研究发现它们展示出与相应块体材料不同的物理、化学和力学性能[1-9]， 如一些薄膜和纳米粒子的弹性模量增加[1-7]、纳米半导体的声子频率蓝移[8-9]、纳米晶体的熔化温度和热导率降低等等，这些奇异的性能为纳米材料在显微电子、光学和传感器等领域提供了广泛的应用潜力，而弹性性能直接决定了纳米结构和器件的稳定性和可靠性，因此理解弹性模量的尺度效应及其理论机制具有重要意义。目前对弹性模量尺度效应的理论解释一般归因于表面效应，有的研究将表面能贡献引进连续介质力学[3]，有的研究通过计算机模拟反映了表面应力影响[1-2]。尽管各种理论都一定程度地解释了弹性模量的尺度效应，还是缺乏一个一般的理论模型来表达尺度依赖的弹性模量，其中所有参数都应有明确的物理意义，这将有助于理解纳米尺度弹性性能的物理规律和机制，从而进一步指导纳米材料和薄膜的应用。 众所周知，杨氏模量Y与固体的力常数k相关[10]， Y = k/h， （1） 式中h是平衡原子间距或键长。力常数k = d2u(r)/dr2(r = h)，其中u(r) 指原子间势，它是原子间距r的函数，可见杨氏模量本质上是与原子间距和原子间相互作用势能相关的。最近，我们建立了一个关于纳米晶体的表面应力与尺寸依赖的晶格应变的解析热力学模型[11]，根据该模型可以很方便地计算纳米晶体相对于它对应的块体材料键长的变化。进一步，结合该模型发展一个尺度依赖的弹性模量的热力学模型也是可能的，这将有助于人们估计纳米材料的弹性性能且有助于人们理解热力学量对弹性性能的影响。 本文基于尺寸依赖的键长和键能方程推导了一个关于纳米薄膜尺度依赖的弹性模量的物理方程，该方程是定量的，不含任何自由参数，每个参数都有明确的物理意义。根据此模型，我们预测了Cu、Ag、Au、Ni、Si薄膜和TiO2纳米粒子的弹性模量，理论预测与不同工作组的计算机模拟、连续介质力学和半连续模型计算及实验测量结果都符合的较好。 1 理论模型 根据固体物理理论，一个理想晶体的原子间势能表达为u(r) = [pq/(p-q)]e[(h/r)p/p-(h/r)q/q]，其中e是原子间结合能或键能，系数p和q依赖于势曲线的形状（对经典的Lennard-Jones势，p = 12，q = 6）。 因此，k = d2u(r)/dr2(r = h) = pqe/h2，结合方程（1）， Y = Ce/h3， （2） 式中C = pq是常数，即弹性模量仅依赖于晶体的键长和键能。 令Y(D)表示尺度依赖的杨氏模量，其中D指薄膜的厚度或纳米粒子直径，假设方程（2）对薄膜和纳米材料仍适用，则Y(D) = Ce(D)/h(D)3，其中e(D)和h(D)分别是尺寸依赖的键能和键长。因而Y(D)/Y表达为 Y(D)/Y = [h/h(D)]3[e(D)/e]。 （3） 注意对金属和陶瓷EAM势和Morse势分别更适合，但力常数、弹性模量与键能、键长之间的内在关联是和简单的L-J势一样的。 方程（3）中，尺寸依赖的键长h/h(D)与纳米晶体本征的晶格应变( = [h(D)-h]/h相关。根据Laplace-Young方程，作用在一个浸在液体中的固体小球粒子上的静水压力为P = 4(/D，其中(是各向同的表面应力，D是直径，这个压力将引起粒子的弹性应变(。在小应变下，( = (D/D = (A/(2A) = (V/(3V)，A是粒子的面积，V是体积，结合压缩系数(的定义：( = -(V/(VP)，可得P = -3B(，B = 1/(是体积模量，因此，( = -4((/(3D)。根据表面应力的热力学定义， ，其中G是表面（界面）过剩Gibbs自由能