红外折／衍溷杂f-theta镜研究.pdfVIP

维普资讯 第28卷 第2期 红 外 技 术 V_01．28 NO．2 2006年2月 InfraredTechnology Feb． 2006 红外折／衍混杂f-theta镜研究 王肇圻，刘 娟，傅汝廉 (南开大学现代光学研究所，光电信息技术科学教育部重点实验室，天津 300071) 摘要：根据现代红外激光扫描系统的需求，分别设计了工作于808姗 ～1064am波段和 1064nm～1500 nln波段的折／衍混杂f-them系统。系统分别由三片镜和四片镜组成，激光扫描范围分别为lO0mm×lO0 mm60mm。此二系统相配合，可以完成在808nm～1500am波长范围的激光扫描工作。点 列图分析表明，输出光斑质量优良均匀，在0视场、0．7视场、和全视场光斑均接近衍射极限。像差分 析表明，系统最大色差为26“m，最大场曲小于0-3mnl，最大f-theta误差小于0．03％。满足现代多工 作波长、高精度激光打标机的实际需求。 关键词：f-theta透镜；折／务亍混杂系统；激光打标；光学设计 中图分类号：TN214 文献标识码：A 文章编号：lOO1．8891(2006)02．0077—04 DesignofHybridRefractive-D·iffractiveF-·ThetaLensW orking onInfraredW avelengthBand WANGZhao-qi，LIUJuan，FURu—lian (InstituteofModernOptics,NankaiUnivemi~ TheKeyLaboratoryofOpto-electronicInformationScienceandTechnology,MOE,Tianjin300071。China) Abstract： According to the requirements of modem inrfared laser scanning system， hybrid rerfactive—diffractivef-thetalensesworkingonthewavelengthbandfrom 808am to1064nm andfrom 1064 am to 1500am weredesignedrespectively．Thesystemsraeconsistofthreeelementsandfourelements respectively,andthescanningrangesrae100mm~ 100mm na60mln respectively~Withthe combinationofthesetwosystems，thelaserscanningtaskscanbefulfilledintheworkingwavelengthband rfom 808am to1500am，whichcovershtewavelengthbandofsemiconductorlasers．Itisshownrfom the spotdiagram analysisthathteoutputspotsareindiffractionlimitwithgooduniformity．Themodulation transferufnctionsfor0。，0．71。andfullfieldofview areallneartothediffractionlimit．Themaximum lateral coloris26 m，themaxim