同轴介质阻挡放电装置放电特性地研究.pdfVIP

中国电机工程学会高压专委会2007 年学术年会论文集 同轴介质阻挡放电装置放电特性的研究 冯剑 张贵新 刘亮 清华大学电机系 摘要 同轴介质阻挡放电装置是产生低温等离子体的一种有效方式，并且所产生的等离子体可以被很好地利 用。本文介绍了一种同轴介质阻挡放电装置，并对其在不同气体、不同气压、不同频率、不同气体流速等情 况下的放电特性进行了一系列的研究。实验证实氦气比氩气和空气放电更加均匀。气体的起始放电电压与阳 极电源的频率基本无关，与气压值和气隙距离的关系满足帕申曲线中所示的规律，而与气体的流速呈现出“U” 型曲线。 关键词 同轴介质阻挡放电；放电特性；低温等离子体 1 引言 2 实验装置 [1-7] 介质阻挡放电 （DBD ）是产生低温等 实验所采用的同轴介质阻挡放电装置 离子体的一种很有效的方法，能有效的获得 结构图如图1 所示。内电极带有气孔并与金 均匀的等离子体，并不易击穿电极空间，产 属高压接头相通，气孔通过绝缘气嘴与外部 生的自由电子和离子数目相对较多。介质阻 气路相连。内电极外侧有一同轴的地电极， 挡放电通常有两种形式：平板式和同轴式。 在内、地电极之间有一层用石英玻璃管制作 [8-9] 而同轴介质阻挡放电装置 由于可以将产 的同轴介质阻挡层，反应腔外壁由有机玻璃 生的等离子体从气嘴，而且气体温度较低， 制成，上下法兰均接地。在反应腔内有一工 这样在应用时就克服了放电区域狭小带来的 作平台。工作时，在内电极上加高压，在介 不便，同时也了减小了高温对物体表面带来 质阻挡层内壁形成放电，产生等离子体。使 的影响。此外，同轴放电装置可较为容易地 用时，从气孔通入工作气体，使其将等离子 利用放电所产生的等离子体，因此已经受到 体吹出从而应用。 越来越多的关注。 接气路 接气体输入 绝缘气嘴 气流通道 高压接头 上法兰 内电极气孔 绝缘密封层 托台及托杆 玻璃桶 内电极 内电极 介质阻挡层 下法兰 石英玻璃 地电极 /外电极 图1 同轴介质阻挡放电装置及其反应腔结构图 中国电机工程学会高压专委会2007 年学术年会论文集 整个系统的结构图如图2 所示。在该装 电源采用的是 10~30kHz 的高频交流电源。 置中，内电极有两种，外径分别为 6mm 和 在气路的配备上，采用了包含真空泵，气管， 2mm ，高度约为 28cm ，而在地电极的设计 流量计，气压计，气阀以及氦、氩、氮气或 上，我们制作了多种尺寸，内径分别有 空气等气体的气瓶等多种设备配合。在检测 20mm，24mm，28mm，32mm