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2008年3月
北 京 宝 伦 数 控 技 术 有 限 公 司
POWERLAND Technologies Co.
公司总部： 地址：北京市海淀区上地3街9号嘉华大厦F座1001-1005 邮编：100085
电话：01082840855 传真：010 Internet: E-mail：sales@ 上海办事处： 广州办事处：
地址：[200023]上海蒙自路360号 地址：广州市天河区中山大道西1009号天朗明居S11-603室
电话：021 电话：020E-mail：sh-office@ E-mail：gz-office@
目录
第一章 系统概述 ………………………………………………………………… 1……………………………………………………… 1
二、性能指标 ………………….…………………………………………… 2
第二章 系统界面操作说明 ……………………………………………………… ……………………………………………………… 3
二、速度系统画面 ………………………………………………………… 6
三、视图画面 ………………………………………………………………. 8
四、参数设置画面 ………………………………………………………… 10
五、温度系统画面 ………………………………………………………… 11
六、诊断画面 ……………………………………………………………. 12
七、文件处理画面 ………………………………………………………. 14
八、退出系统画面 ………………………………………………………… 15
九、画面中数据的修改 …………………………………………………. 16
第三章 拉晶过程简述 ………………………………………………………… 1…… ………...……………………………………………… 18
二、摄像头调节 …………………………………………………………… 18
三、投入自动 ……………………………………………………………… 19
第四章 常见故障及维护方法 …………………………………………………
附1 摄像头调节方案 ………………………………………………………… 附2 精度校准 ……………………………………………………………………第一章 系统概述
PNC2000CG晶体生长控制器是根据国内光伏及半导体材料加工工艺发展需要，借鉴国外同类产品的先进技术，结合多年来积累的控制技术经验，经过不懈的努力，研制成功的新型控制器。该控制器带有摄像头监视与控径一体化的触摸屏，可适用于各种单晶硅生长设备。
一、系统特性和功能
PNC2000CG晶体生长控制器采用一体化触摸屏工作站，内装WINDOWS XP 操作系统，具体功能如下：
1WINDOWS XP操作系统，15寸TFT液晶触摸屏作为人机对话界面，可实时通过图像观察晶体生长过程。
2高分辨率摄像头对晶体的直径进行高精度直接测量，实时显示等径状态下的晶体图像和直径，根据所测数据进行精确控径。可设置直径修调参数，以消除人工安装摄像头的角度误差和由于晶升轴使用钢丝带来的晃动而产生的测量误差。
3控制器功能：
直径控制器功能：根据摄像头所测直径的变化，对晶体的提拉速度进行控制，实现晶体直径的等径自动生长。
温度控制器功能：用晶升速度的变化控制炉内温度的增长，对晶体的生长温度进行自动控制。
4校正曲线：
温校校正曲线：设置了20段开环温效曲线，对晶体生长过程中的加热温度进行自动补偿控制。
拉速校正曲线：根据生长工艺的要求，设置了20段可任意选择的拉速设定曲线，适用于不同直径单晶硅棒的生产。
埚根比校正曲线：设置了20段可任意选择的埚根比校正曲线，适用于不同直径单晶硅棒的生产。
5晶体生长过程中的长度显示。
6氩气流量显示。
7真空压力显示。
8加热柜的电压、电流、功率的显示。
9晶转、埚转、埚根比速度的设定、显示。
10水温报警、加热柜的过流报警。
11可以自动保存拉晶过程的历史数据，并可在曲线上显示。
二、性能指标
1、控径精度：±0.5mm
第二章 系统界面操作说明本章对系统界面的操作进行简单的说明。
一、晶体生长主画面（如图1所示：）
图1 晶体生长主画面
单击按钮，可以进入主画面。
主画
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