ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制.pdfVIP

维普资讯 第30卷第4期 压 电 与 声 光 Vo1．3ONO．4 2008年 8月 PIEZOELECTECTRICS ACOUSTOOPTICS Aug．2008 文章编号 ：1004—2474(2008)04—0387—03 ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制 汤 亮，郝震宏 ，乔东海，汪承灏 (中国科学 院 声学研究所 ，声学微机 电实验室 ，北京 100080) 摘 要 ：采用射频 网络法分析了ZnO薄膜体声波谐振器 的谐振特性 ，并考虑 了介质声损耗对 品质 因数 Q值 的 影响。采用硅体刻蚀工艺在硅基片上制备 了以ZnO薄膜为压电膜 的薄膜体声波谐振器 ，并对器件 的性能进行了测 试 。将实验与理论分析结果进行对 比，发现实验器件 的谐振频率与理论值一致 ，但器