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真空理论知识培训 拟制：许坤良 目录： 基础知识： 二.往复式真空泵： 三.旋片式油封机械真空泵： 四.罗茨式真空泵： 五.分子真空泵： 六.油扩散泵： 七.低温泵： 八.真空泵流量的测量方法： 九.冲洗抽气法： 一.基础知识： 真空及其度量： 真空----一般是指在给定的空间内，压力低于101325Pa的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度，通常用气体的压力值来表示。 真空的主要特性-----真空状态同正常的大气状态相比较，气体较为稀薄，即单位体积内的分子数目较少，分子之间或分子与其他质点（如电子、离子）之间的碰撞几率减少，分子在单位时间内碰撞于单位表面积（如器壁）上的次数也相对减少。 分为：“自然真空”和“人为真空” 人为真空---是指人们对一个容器进行抽气而获得的真空空间。 气体的稀薄程度叫真空度。真空度可用气体压强、分子密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间来描述，在真空科学与技术中，通常都用气体的压强来表示。气体压强越低，真空度越高。 换算关系： 1atm=1.01325*105Pa （1Pa=1N/m2）（760mmHg） 1atm=760mmHg=760Torr（标准大气压） 1Torr=133.322Pa（1Pa=7.5*10-3Torr=0.0075Torr=7.5mTorr） 1bar=105Pa=750Torr 1Pa=7.5mTorr 1mbar=750mTorr 各真空区域的物理特性及应用： 低真空：1*105Pa-----1*102Pa=0.75Torr=750mTorr 中真空：1*102-----1*10-1Pa=0.75mTorr 高真空：1*10-1----1*10-6Pa=7.5mTorr 超高真空：1*10-6---1*10-12Pa 极高真空：小于10-12Torr 3.1低真空（1*105Pa-----1*102Pa） 在低真空状态下，气态空间的特性和常压时相比，没有明显的不同。气体分子仍以杂乱无章的热运动为主，气体分子间的相互碰撞 十分频繁。 3.2中真空（1*102-----1*10-1Pa） 在中真空状态下，由于压强较低，气体分子的密度和常压相比已有很大差别。气体的对流现象完全消失。气体流动也逐渐从粘滞流状态过渡到分子流态，即气体分子的动力学性质更为明显。气体中的带电粒子在电场作用下将会产生定向运动，若与气体分子碰撞使之电离，即发生“气体导电”现象。 3.3高真空（1*10-1----1*10-6Pa） 高真空时气体分子密度更加降低，分子之间的碰撞次数很少。气体流动状态完全呈现分子流态。空间的任何物体和残余气体分子的化学作用已经接近于零。 3.4超高真空（1*10-6---1*10-12Pa） 在超高真空区域，气体分子是以在固体表面吸附为主，表面物理化学为决定物理本质的基本规律。 真空泵性能的表示法： 极限压力----将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续地抽气，当容器内的气体压力不再下降，而维持某以定值时，此压力即为泵的极限压力。Pa 流量----在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体量称为泵的流量。流量的单位用压力*体积/时间来表示（PaM3/h）。通常泵要给出流量与入口压力的关系曲线。 抽气速率----在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽气速率。 抽气的概念----若真空容器所有的内表面上无气体的吸附和脱附现象发生，这种抽气过程称作理想状态的抽气过程。 容器内气源产生的气体量为ΣQ（Pam3）=Ql+Qd+ Qp+Qb+Qr 式中：Ql---------漏气量； Qd---------容器内表面吸附气体的脱附量； Qp---------容器内部的扩散或渗透的放气量； Qb--------泵向真空容器的返流气体量； Qr--------真空容器内装配的机构的放器量； 为了获得超高真空，烘烤这道工序是必不可少的。因为温度高了，气体分子在表面上滞留时间短了，短时间Q能快速下降。在250-450℃条件下烘烤比不烘烤，压力能够下降3-4个数量级。除掉水蒸气后，残余气体多为金属中溶解的氢气了。 容器内压力p不能继续下降的原因是ΣQ引起的。在容器不漏气的情况下，极限压力取决于表面放气率。 真空泵的分类： 5.1气体输送泵：它是一种能使气体不断吸入和排出泵外以达到抽气目的的真空泵。 5.1.1变容真空泵： 是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气、压缩和排气的装置。 1）往复式真空泵-----利用泵腔内活塞的往复运动，将气体吸入、压缩并排出。（活塞式真空泵）。 2）旋转式真空泵-----利用泵腔内活塞的旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。 油封式机械泵。