超声键合换能系统中劈刀的振动特性分析.pdfVIP

备 P 超声键合换能系统中劈刀的振动特性分析 吕雷，韩雷 (中南大学 现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室，长沙410083) 摘要：阐述 了Lyapunov指数作为振动信号的混沌判断原理 ，并对换能系统的振动信号进行分 析与研究，计算了换能系统在不同加载压力下劈刀的振动时间序列的Lyapunov指数。结果表明振 动信号 中的最大Lyapunov指数均大于0，根据混沌理论可以判定换能系统振动信号 中存在混沌现 象，应该采用混沌的方法研究与分析换能系统振动信号。通过不同加载压力下的振动速度信号的 RMS值与最大 Lyapunov指数的比较，发现两者随压力变化趋势相 同，为进一步研究超声引线键 合换能系统的振动特性提供 了有价值的参考。 关键词：超声引线键合；Lyapunov指数；键合强度；劈刀 中图分类号：0426．9；TB559 文献标识码：A 文章编号：11303．353X (2o08)11．1020-04 AnalysisofVibrationCharacteristicsofBondingTool inUltrasonicTransducerSystem LnLei．HanLei (KeyLaboratoryofModernComplex 却mentD~ignandExtremeManufacturing，MinistryofEducatioa， CentralSouthUniversity，Changsha410083，China) Abstract： eprinciple ofchaosidentification ofvibration signalwasdescribed．and the vibration singalsofultrasonicwirebondingtransducersystem were naalyzedandresearched．Itisfoundthatthemax LyapunovexponentsofthevibrationsingalsareallabovezelObycomputingLyapunovexponentindifferent pressureshtatofdifferentvibration singals．Then theresultofthesingalsoftransducersystem contained chaoticphenomenoncouldbeacceptedbychaostheoryandhtevibrationtimeserieswouldbeanalyzedinthe waywhich basedonhtechaoticresearch．AlsowecomparedthemaxLyapunovexponentwiht thevelocity RMS．Itisfoundthat山etrendsofthetwocurvesare thesamewhentheforcechanges．itprovidesvaluable referenceforfurtherstudyinghtevibrationchraacteristicsofultrasonicwirebondingtransducersystem ． Keywords：ultrasonicwire bonding；Lyapunovexponent；bondingstrength；bondingtool EEACC ：25O0 是随机的，就没有必要研究吸引子 的性质 ，甚至重 0 引言 构基本的动力系统。如果序列是低 自由度的确定性 时间序列分析中的首要问题是判定时序是确定 混沌，则系统必然是存在非线性机制的耗散系 的、混沌的还是随机的