磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的理论分析与建模.pdfVIP

磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器 的理论分析与建模——陈本永 潘科荣 杨 涛等 磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的 理论分析与建模 陈本永 潘科荣 杨 涛 陈 军 姜伟光 郭 亮 浙江理工大学，杭 州，310018 摘要 ：提 出了一种基于磁场同步跟随的新型电磁悬浮式微驱动器，解决 了悬浮驱动力与横向力相互 耦合的问题 ，可实现高精度微运动。通过理论分析，建立 了该驱动器的驱动力数学模型；采用矢量磁位 法、傅里叶级数法和麦克斯韦张量法完成了该驱动器的特征参数辨识，并分析 了永磁体材料、尺寸、导线 阵列电流大小以及气隙高度对悬浮力大小的影响 ，由此得到悬浮力与气隙、电流的关系。实验结果证 实 了理论分析与建模 的正确性以及该驱动器的实际可行性。 关键词 ：磁场同步跟随；电磁悬浮 ；微驱动器 ；Halbach阵列 中图分类号 ：TM3；O444 文章编号 ：1O04—132X(2008)21—2637一O6 AnalysisandModelingofanElectromagneticLevitationM icrO— actuator ChenBenyong PanKerong YangTao ChenJun JiangWeiguang GuoLiang ZhejiangSci—techUniversity，Hangzhou，31OO18 Abstract：A novelelectromagneticlevitationmicro— actuatorbasedonthesynchronoustracking magneticfieldwasproposed．Highprecisionmicro—motionwasavailablebecauseitsolvedcouplingof suspensionforceand1atera1force．Themathematicalmodelofsuspensionforceofthismicro— actua— torwasanalyzedandestablished．Themethodsofvectorpotential，FourierseriesandM axwel1stress tensorwereappliedtodistinguishcharacteristicparametersofthismicro——actuator．Therelationship between suspensionandair—gap，currentwasachievedaftertheinfluenceofmagnetmaterieI，size， currentandair—gaponthesuspensionforcewasinvestigated．Experimentalresultshowsthefeasibil— ityofthismicro～actuator． Keywords：synchronoustracking magnetic field；electromagneticlevitation；micro— actuator； Halbacharray 0 引言 驱动机构无接触 、无摩擦损耗 ，但以微电机作为驱 随着微／纳米科学技术的快速发展 ，在微机电 动器，往往存在体积大 、结构相对复杂和累积误差 系统 、生物工程、分子原子操纵等领域 中，迫切需 大的不足。通过分析国内外微运动系统电磁驱动 要具有高操作精度 的微运动系统Ⅲ1]。在微运动 器技术的现状发现，现有研究均较少涉及大范 围 系统 中，驱动器是实施微运动的关键部件 ，为了实 高精度、多 自由度的空间微运动。鉴于此，本文提 现高精度的微运动，驱动器必须具备高运动精度 出一种新型的具有大范围高精度的磁场 同步跟随 和高定位精度 ，因此 ，驱动器技术是微运动系统的 式电磁悬浮驱动器解决方案。 核心技术。概括 国内外微运动系统驱动器技术 ，