窄带干涉滤光片抗击不同输出方式激光的损伤特性研究.pdfVIP

! 第# 卷! 第$ 期 强 激 光 与 粒 子 束 %’( # ，)( $! ! $**+ 年$ 月 ,-., /0123 45623 5)7 /538-942 :25;6 =( ， $**+! 文章编号：! **?@A$$（$**+ ）*$?*B?*C 窄带干涉滤光片抗击不同输出方式 激光的损伤特性研究! 高卫东，! 贺洪波，! 赵元安，! 范正修，! 邵建达 （中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜中心，上海$* D** ） ! ! 摘! 要：! 利用)EF G5. 调H 单脉冲激光和自由脉冲激光对硬膜窄带干涉滤光片进行激光损伤阈值的 测试，并且采用表面热透镜技术测量了滤光片的吸收率。实验发现：窄带干涉滤光片的吸收率和激光损伤阈值 强烈依赖于辐照激光波长与窄带干涉滤光片通带的相对位置；在调H 单脉冲激光作用下，不同中心波长的滤 光片损伤形貌存在明显的差别，而在自由脉冲激光作用下，各滤光片的损伤形貌则趋于相同，均表现为典型的 热熔烧蚀破坏。根据实验结果，结合损伤形貌，通过驻波场理论对激光作用下滤光片内电场分布的分析与模 拟，探讨了两种激光模式作用下滤光片的损伤特征和损伤机理的不同特点。 ! ! 关键词：! 干涉滤光片；! 激光损伤；! 单脉冲激光；! 自由脉冲激光 ! ! 中图分类号：! 0@A#! ! ! ! 文献标识码：! 5 ! ! 在激光技术、卫星遥感探测以及目前正在飞速发展的光通讯技术中，窄带干涉滤光片是非常重要的元件之 ［ I A ］ ［@ ］ 一 ，但同时窄带干涉滤光片又是现代光学系统中比较脆弱的一种光学元件 。一直以来，薄膜的激光损伤 都是一个非常活跃的研究领域，人们在薄膜材料的选择、膜系设计、薄膜缺陷分析、沉积系统的改进以及损伤阈 值的测试程序规范方面已经做了大量的工作，并且取得了许多卓著的成效［+ ］。研究窄带干涉滤光片的激光损 ［C ，# ］ 伤特性 ，对于探求窄带干涉滤光片的激光损伤机制，进而实现对窄带干涉滤光片乃至整个光学系统的加固 和防护都具有重要的指导意义和实用价值。 ! ! 本文利用调H 单脉冲激光和自由脉冲激光对硬膜窄带干涉滤光片进行激光损伤实验研究，结合滤光片的 吸收率测量和损伤形貌，通过驻波场理论对激光作用下窄带干涉滤光片内电场分布的分析与模拟，深入探讨了 两种激光工作方式作用下窄带干涉滤光片的损伤特征和损伤机理。 ! 实验样品的设计和制备 ! ! 首先利用89J’K 膜系设计软件设计了中心波长为 *C@ LM 的双腔窄带干涉滤光片，为了更好地抑制短波 区，在膜系的设计中，通过增加反射带来实现对短波截止区的延伸@ （* ( D,* ( D4 ）［@ （,4 ）$, * （4, ）4 $, @ （4, ）］。然后以NB 玻璃为基底，采用8J 0 O 6P0 在双3 离子束溅射镀膜机上进行滤光片的镀制。镀制过 $ + $ 程中，通过改变监控波长的厚度，从而获得了不同中心波长的窄带干涉滤光片。 # 实验结果与分析 # ( ! 透射曲线 ! ! 利用45;:75B** 对制备的滤光片进行@** I $** LM 的* Q透射的测量，所测透射率曲线如图 所示。 # ( # 带通滤光片的结构和电场分析—驻波场理论 $ ( $ ( ! 带通滤光片的结构 ! ! 对于全介质滤光片，从结构上又可以分为单腔滤光片和多腔滤光片。单腔滤光片又可分为两类：其结构分 别为5 R !（,4 ）, $4 , !（4, ）和: R !（,4 ）$, !（4, ），均由反射层!（,4 ），间隔层$4 或$, 组成。 其中, 为高折射率材料，4 为低折射率材料，! 为反射层基本周期（,4 ）的周期数， 是干涉级次。其典型结构 见图$ 。 ! ! 多腔滤光片结构为：545 …54