传感器及应用技术（ 第二版） 教学课件 作者 沈聿农 主编 王永红 副主编 董尔令 主审 ５压电式传感器.pptVIP

尚辅网 尚辅网 第五章 压电式传感器 1、 压电效应 2、 压电材料 3、 压电式传感器测量电路 4、 压电式传感器应用举例 压电式传感器的特点 压电式传感器元件是力敏感元件，所以它能测量最终能变换为力的那些物理量，例如力、压力、加速度等。 压电式传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、重量轻等优点。 与之配套的二次仪表以及低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电式传感器在工程力学、生物医学、电声学等许多技术领域中，获得了广泛的应用。 第一节 压电效应 正压电效应 某些物质在沿一定方向受到压力或拉力作用而发生改变时，其表面上会产生电荷；若将外力去掉时，它们又重新回到不带电的状态，这种现象就称为正压电效应。 逆压电效应 在压电材料的两个电极面上，如果加以交流电压，那么压电片能产生机械振动，即压电片在电极方向上有伸缩的现象，压电材料的这种现象称为“电致伸缩效应”，也叫做“逆压电效应”。 1、石英晶体的压电效应 2.压电陶瓷的压电效应 极化后的压电陶瓷具有压电效应 当陶瓷材料受到外力作用时，电畴的界限发生移动，电畴发生偏转 ，从而引起剩余极化强度的变化，因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。因受力而产生的由机械效应转变为电效应，就是压电陶瓷的正压电效应。 压电陶瓷的压电系数化石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。 切片上电荷的符号与受力方向的关系 第二节 压电材料 压电材料的主要特性参数： （1）压电常数 衡量材料压电效应强弱的参数。 （2）弹性常数 决定着压电器件的固有频率和动态特性。 （3）介电常数 对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响压着电传感器的频率下限。 （4）机械耦合系数 它是衡量压电材料电能量转换效率的一个重要参数。 （5）电阻 压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。 （6）居里点 压电材料开始丧失压电特性的温度。 石英晶体 一种天然晶体，化学式为SiO2，是单晶体结构。 压电系数d11＝2.31×10－12C/N； 莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。 转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。 常见压电陶瓷 ： （1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。 （2）锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3系压电陶瓷（PZT） 压电系数较高，各项机电参数随温度、时间等外界条件的 变化小，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素，可以 获得不同性能的PZT材料。 （3）铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN） 具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工 作，可作为高温下的力传感器。 第三节 测量电路 1. 压电元件的等效电路 2. 压电式传感器的信号调节电路 一、压电式传感器的等效电路 两片压电元件的联接 二、压电式传感器的测量电路 测量电路关键在高阻抗的前置放大器 前置放大器两个作用: 把压电式传感器的微弱信号放大； 把传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。 1、电压放大器 电压放大器应用限制 压电式传感器在与电压放大器配合使用时，连接电缆不能太长。电缆长，电缆电容Cc就大，电缆电容增大必然使传感器的电压灵敏度降低。 电压放大器与电荷放大器相比，电路简单，元件少，价格便宜，工作可靠，但是电缆长度对传感器测量精度的影响较大，在一定程度上限制了压电式传感器在某些场合的应用。 当作用于压电元件力为静态力（ω=0）时，因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉，则前置放大器的输入电压等于零，所以压电传感器不能用于静态力测量。 2、电荷放大器 压电式传感器另一种专用的前置放大器。 能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，而且输出电压正比于输入电荷，因此，电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达1010~1012Ω，输出阻抗小于100Ω。 使用电荷放大器突出的一个优点：在一定条件下，传感器的灵敏度与电缆长度无关。 1、压电式加速度传感器 测量原理 当传感器感受振动时，质量块感受与传感器基座相同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力的作用。这样，质量块就有一正比于加速度的交变力作用在压电片上。由于压电片压电效应，两个表面上就产生交变电荷，当振动频率远低于传感器的固有频率时，