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Vol 第34卷 增刊l 稀有金属材料与工程 34,Suppl.1 2005 2005年 6月 RAREMETALMATERHLSANDENGJNEERINGJune 聚碳酸酯镜片表面沉积类金刚石耐磨涂层 苏葆辉,何子博,冉均国,苟立,王方瑚 f四川大学无机材料系,四川成都6100651 研究了功率、气体浓度和沉积时间等条件对薄膜性能的影响,优化丁工艺蕞什;用x射线光电子能谱测定了薄膜的组成 评价了薄膜的耐磨性能和附着性能。结果表明:Pc镜片表面沉秘附着性好的DLc薄膜能提高材料表面的耐磨性能。 关键词:聚碳酸腊; 等离子体化学气相沉积; 类金刚石膜: 耐磨性能 中图法分类号: R783.1 文献标识码:A 文章编号:1002—185x(2005)sl一0447—04 得质量均匀、致密、稳定性好的薄膜,能实现低温cvD 1 前言 过程。可见低温等离子体化学气相沉积制备DLc薄 20世纪90年代开始国际眼镜市场流行树脂镜片, 膜,是一种适合在眼镜片上镀膜的方法。 树脂镜片系由高折射率的透明树脂熔铸而成。由于树 获得具有良好耐磨性和光透过性的Pc镀膜镜片, 脂镜片质量轻、抗震动、抗摔打、易成型、易染色、 对提高人们的生活质量,具有重要的意义。 防紫外线能力强并具有良好的佩戴感觉,以及高度可 2实验方法 靠的安全性,因而在全球范同内正逐步取代传统的玻 璃镜片成为眼镜市场的丰导产品。聚碳酸酯(Pc)南2 1设备 于合成双酚A型Pc的原料丰富,生产工艺简单,且 射频辉光放电等离子体化学气相沉积(RF- 其综合性能优越,是目前眼镜市场上使用最多的镜片 PcvDl是通过射频辉光放电分解碳氧气体而沉积到 材料。但还存在着加工性较差、表面硬度低和对紫外 基体j二形成类金刚石(DLc)膜。设备如图1所示”】, 光不很稳定等问题,特别是Pc材料的耐磨性急待解 决。这样便制约了树脂镜片的进一步发展【12】。 设备厂生产)。丁作气体为甲烷和氩气,气体纯度 为了解决磨损带来的危害和延长镜片的使用寿 均为999%。 Pa左右,功率 命,有必要镀上一层抗磨加硬膜。国外只有极少数探 采用的主要工艺参数:真空度133 200 mA~140mA, 索性的研究报道,如NIKONcORP在专利 W,电压100kv~160kv,电流90 JP3130363.A中用cvD的方法在Pc、聚酰砸胺和环 氧树脂上制各DLc薄膜来提高隐形眼镜的耐磨性,但 min~60min。 2。 制备出的薄膜在附着性上还存在很大的缺陷,未见市 显微硬度测试仪:LEITzM【NILOAD r/min。 场化的消息。对于在眼镜用Pc树脂上镀DLc膜改善 摩擦磨损实验机:MM.200,转速200

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