清华大学数字大规模集成电路03-MOS器件.pdfVIP

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第三章 MOS器件 第一节 MOS 器件的工作原理 + S VGS D G - n+ n+ n-channel Depletion 耗尽区 n 沟道 Region p-substrate P 衬底 B 2004-9-22 清华大学微电子所 《数字大规模集成电路》 周润德 第3 章 第1 页 MOS 晶体管的类型与符号 D D G G S S NMOS 增强型 NMOS 耗尽型 D D G B G B S S PMOS 增强型(带体端) NMOS 增强型(带体端) 2004-9-22 清华大学微电子所 《数字大规模集成电路》 周润德 第3 章 第2 页 MOS管的阈值电压(Threshold Voltage ) 衬底费米势 注入 表面电荷 衬偏(体)效应 功函数差 耗尽层电荷 0.9 0.85 衬偏效应系数 0.8 0.75

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