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第13章固态图象传感器,固态图像传感器,传感器固态化,固态传感器,第六章传感器,传感器第一章习题,图像传感器,cmos图像传感器,ccd图像传感器,cmos图像传感器原理
电荷耦合器件(CCD) Charge—Coupled Devices 电荷耦合器件 电荷耦合器件 电荷耦合器件 电荷耦合器件(CCD) ①CCD基本结构和工作原理 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD)②电荷耦合器信号输出方式 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) ③CCD的特性参数 电荷耦合器件(CCD) ④CCD器件 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) ⑤典型的CCD器件 电荷耦合器件(CCD) ⑤典型的CCD器件 电荷耦合器件(CCD) TCD142D结构示意图 电荷耦合器件(CCD) 电荷耦合器件(CCD) TCD142D驱动电路 电荷耦合器件(CCD)⑥CCD传感器的应用 电荷耦合器件(CCD)⑥CCD传感器的应用 电荷耦合器件(CCD)⑥CCD传感器的应用 电荷耦合器件(CCD) 实例1: 线阵CCD进行工件尺寸测量 M2A胶囊 CCD在医疗诊断中的应用 第13章 ??固态图象传感器 测量原理: 在荧光灯的玻璃管生产过程中,总是需要不断测 量玻璃管的外圆直径及壁厚,并根据监测结果对生 产过程进行调整,以便提高产品质量。 玻璃管的平均外径φ12mm,壁厚1.2mm,要求测量 精度为外径±0.1mm,壁厚±0.05mm。利用CCD配合 适当的光学系统,对玻璃管相关尺寸进行实时监测, 用平行光照射玻璃管,成像物镜将尺寸影像投影 在CCD光敏像元阵列面上。 第13章 ??固态图象传感器 由于玻璃管的透射率分布的不同,玻璃管成像 的两条暗带最外边界距离为玻璃管外径大小,中间 亮带反映了玻璃管内径大小,而暗带则是玻璃管的 壁厚像。 成像物镜的放大倍率为β,CCD相元尺寸为t, 上壁厚、下壁厚分别为n1、n2 ,外径尺寸的脉冲 数(即像元个数)为N,测量结果有: 分别为上壁厚、 下壁厚,外径尺寸。 * 第13章 ??固态图象传感器 电荷耦合器件,又称CCD图象传感器,是一种大 规模集成电路光电器件电荷耦合器件。具有光电转 换,信息存储、延时、传输、处理等功能。 特点:集成度高、尺寸小、电压低(DC7~12V)、 功耗小。 该技术的发展促进了各种视频装置的普及和微型 化,应用遍及航天、遥感、天文、通讯、工业、农 业、军用等各个领域。 第13章 ??固态图象传感器 第13章 ??固态图象传感器 基于CCD光电耦器件的输入设备:数字摄像机、数字相机、平板扫描仪、指纹机 第13章 ??固态图象传感器 图象传感器发展趋势 第13章 ??固态图象传感器 CCD基本结构分两部分: MOS(金属—氧化物—半导体) 光敏元阵列; 读出移位寄存器。 电荷耦合器件是在半导体硅片上制作成百上千(万)个光敏元,一个光敏元又称一个像素,在半导体硅平面上光敏元按线阵或面阵有规则地排列。 CCD结构示意图 显微镜下的MOS元表面 第13章 ??固态图象传感器 电荷存储原理: 当金属电极上加正电压时,由于电场作用,电极下 P型硅区里空穴被排斥入地成耗尽区。对电子而言, 是一势能很低的区域,称“势阱”。有光线入射到硅 片上时,光子作用下产生 电子—空穴对,空穴被电 场作用排斥出耗尽区,而 电子被附近势阱(俘获), 此时势阱内吸的光子数与 光强度成正比。 一个MOS光敏元结构 第13章 ??固态图象传感器 一个MOS结构元为MOS光敏元或一个像素, 把一个势阱所收集的光生电子称为一个电荷包; CCD器件内是在硅片上制作成百上千的MOS元, 每个金属电极加电压,就形成成百上千个势阱; 如果照射在这些光敏元上是一幅明暗起伏的图象,那么这些光敏元就感生出一幅与光照度响应的光生电荷图象。 这就是电荷耦合器件的光电物理效应基本原理。 第13章 ??固态图象传感器 265×180 133×90 66×45 33×22 分辨率不同的图象比较 第13章 ??固态图象传感器 电荷转移原理(读出移位寄存器) 光敏元上的电荷需要经过电路进行输出,CCD电荷 耦合器件是以电荷为信号而不是电压电流。 读出移位寄存器也是MO
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