第五章电容传感器.pptVIP

即差动电容△C变化，使充放电时间不同，从而使双稳态输出方波脉冲宽度不同，因此A，B两点输出直流电压U0也不同。 若用平板电容： 做成间隙式 当R1=R2=R时，②式代入①中有： * * 第五章　电容式传感器 §5-1工作原理及结构 当忽略电容器的边缘效应时，平板电容器的电容量为： 式中 A－电容器的极板面积； d－极板间的距离； ε0－真空介电常数， ε0 =8.85×10-12F.m-1 εr －极板间介质的相对介电常数； ε－介电常数， ε = ε0 εr 。 结构图 则 即c-d为双曲线如上图ｂ §5-2静态特性 一、变间隙式 (一)空气介质的变间隙电容式传感器 略去高次项得 灵敏度 如果考虑二次项，则 或： 相对非线性误差δ为 受击穿电压及加工精度限制 差动式结构 初始： 测量时： 差接： 当Δd / d01时，略去高次项，则： 传感器的灵敏度K’为 传感器的相对非线性误差δ’ 近似为 初始电容C为 式中εr2为固体介质的相对介电常数 (二)具有固体介质的变间隙电容式传感器 减小极间距离d可以提高灵敏度，但是d过小容易引起击穿或短路。为此，一般在极板间放置云母、塑料膜或其它介电常数 高的物质来改善这种情况。 推导 测量时: 可得： 式中： 略去高次项可得到近似的关系式： N1为灵敏度因子，又是非线性因子。 讨论 1、 2、当 ，相当于两个极板间全部为空气隙，则 3、 二、变面积式 原理：通过两个极板相互遮盖的面积的大小，来得到电容的变化的。 特点：电容量变化范围大，适合测量较大的线位移和角位移。 输出特性： 灵敏度： 讨论 1、输出为线性关系，灵敏度＝常数。 2、b ，或d ， 灵敏度K 三、变介电常数式 介电常数的变化可以是由于温度引起的，也可以是由于介质厚度变化引起的。所以它可以测定纸张、电影胶片等的温度变化或厚度的变化。 如果固体介质的相对介电常数增加了 ，则电容也增加了 式中： 讨论 1、 均于间隙比 有关，间隙比越大，则灵敏度越大，非线性也越小； 2、 的值又与 有关， ，线性度提高。 N2，N3 §5-3电容式传感器的等效电路 等效容抗为： 则有效电容： 电容的实际相对变量为： 在大多数情况下，电容式传感器可以视为一个纯电容。 当考虑到电容器的损耗和电感时： 即由于电感存在，使有效电容增大，电容实际相对变量亦增大。因此，测量时，必须与标定时处在同样条件下，即电缆长度不能改变。 §5-4 电容式传感器的结构与特点 1.高阻抗，小功率 容抗： 视在功率 因而仅需要很小的输入力和很低的输入能量。 但高阻抗易受干扰（分压大），也易受旁路电阻影响，故须注意绝缘。 2．小的静电引力 由电工学，极板间的静电引力 又因为传感器可动质量小，所以有较高的固有频率，使得动态响应好，可在几MHz频率工作。 4.传感器损耗小 发热影响小 零漂忽略 5.结构简单，可在恶劣下环境工作 因为用玻璃、石英、陶瓷等镀金属作极板 所以耐大温差，及各种辐射 缺点：1.输出非线性较严重 　　　2.分布电容影响较大 3.传感器动态响应好 措施： 　　a.将电子线路前级安放在紧靠传感器的地方 　　b.采用双层屏蔽等电位传输技术 　　c.采用相应的测量电路。 §5-5 电容式传感器的测量电路 一，紧耦合电感臂电桥： 代入（3-50）式可得： 灵敏度： (1)a1 K∝a 又K=2K0 式中K0为无耦合时灵敏度 (2)a=1/2 谐振 (3)a1 K≈2 与频率f和电感L无关，具有高稳定性。 K=-1（紧耦合） K=0（无耦合） 1/2 2 讨论 则电桥输出电压： 二，变压器电桥：图5-17 Z2 Z1 即输出电压 与位移△d成线性关系 *三，双T电桥电路（二极管式电路）：图5-18 当E正半周——V1通，V2止 当E负半周——V1止，V2通 当E负半周——V1止，V2通 电路输出： 电路输出： 当E正半周——V1通，V2止 则：输出电流的平均值： 输出电压的平均值： 略去了指数项 讨论 （1）当 灵敏度最大； （2）电路灵敏度与电源频率有关，故要求电源频率稳定； （3）输出电压较高； （4）输出阻抗与R1,R2同等数量级，且与C1，C2无关； （5）输出信号的相应（上升时间）与负载电阻有关。 （当负载电阻＝1k时，相应时间＝20uS。所以可以测量高速机械运动） 优点：电路结构简单，可直接得到高电