负压采样法会议论文.pdfVIP

…………一…．检漏技术一……………贵州贵阳 2004年9月 √负需法 北京真空电子技术研究所 摘要：通过在包头的两台1吨真空熔炼炉，北京的基因。】j释大型扫描电子显微镜和真空封接 炉。西安的真空淬火炉检漏工程达标任务的完成，并与美国、英国、德国、俄罗斯、 印度I：程技术人员一起采用常规“负压采样法”进行现场对比试验。实战证明“负压 采样法”是火型真空容积检漏最有发展潜力的使州检漏方法，同t：tlJ认为值得向国内 外推J。它将解决2l世纪．L业发展所急需的实tl；}j检潲技术的疑难，提高生产力，提高 产品的可靠性，降低造价。 关键词：检漏1j程、负压分流法、负压采样法、对比试验 现代科学不断地向超高压，超高真空，超高温，超速度以及强腐蚀，强辐射等方向发展。 不断地对检漏提出新的技术要求。实际上，即使采用现代先进技术也不能制造一个密封容器 和系统，较大的系统装置密封点成千上万，因此，也就增加了泄漏几率，在实际生产和生活 中，凡是要求密封部位，绝对“不漏”是可能的。漏气是绝对的，而不漏气则是相对的。所 以说绝对不漏气是不存在的，我们通常所说的“不漏”一般是指系统上存在的漏孔的潮率这 小丁-要求的渊率或仪器的虽高灵敏度而言的。检漏的方法很多，但备有箨的特点和使川范同。 本文是作者们通过实践对大容积检漏，真实过程的写照。 1．氨质谱负压分流喷吹法： 如幽1所示目前国内外常用的大容器捡漏方法，氮质谱负压分流喷欧法，有3种不同来连接 方式。三种连接方式需要解决的几个问题是： (1)质谱室t作压强，即质谱检漏仪最大入口压强20--1000Pa (2) L／s 质谱检漏仪最大入口的氮抽速为0．2—1．2 (3)分流泵的抽速人小，氦质谱负压分流喷欢法的检漏灵敏度q。=8：9q。 其中：S。为检漏仪支路对氦的抽速， s，，为分流泵对氦气的抽速， Q“．为检漏仪有效灵敏度， q。，为可检测的灵敏度 (4)检漏仪的响应时间与被检点的位置关系，距离越近，反应时间长 逆扩散式的氦质谱检漏仪可直接连接于被检件高，低真空系统中。常规式氦质谱检漏仪 必须连接上针伐。用针伐调节保证氦质谱检漏的最大入口压强。 中国真空学会质诺与齄强专委会第十二届年会·中国计量蔫拭学会真空校准专委会第七届年会 2．负压采样法： 负压采样法如幽2所示，是介于负噩和正压之间一种方法，它集两种方法的妖处。具有 不充探索气体。不要求被检件抽高真空，不破坏密封容器的真空系统和吸枪位丁被抽检渊什 的排气口的特点。冈此检漏灵敏度决定了1：作真空泵的抽速。 图2：负压采样法工作图 一…～一…一检漏技术 贵州贵阳 2004年9月 负压采样法：由于前置真空泵喷射油气大，或水汽大。在吸枪头必须放置油气分离的过 滤器(即油雾过滤器)。泵的出口排气压强是大丁=．1个人气压(即人丁O．1MPa)。为了使反戍 时间快(特大容积1000m3)必须加快速吸枪。快速吸枪要解决大量空气与氦气的分离。有 空气与氦气分离器(只证氦气通过多数空气被龋离)，由于有上述两个设施使用负压采样法， 反应时间快，灵敏度高(吸枪累积法)。 3．现场实验 实例1：包头1吨熔炉进行氨质谱检漏技术要求是： x 熔炼室：15ram到1．33104mPa，泄漏率30rain为2X103mPa： 真空机组两套：每套机械泵一台(850m‰)罗茨泵一台(2700m3／h) 辅助室：①模室8rain抽到2．67×103mPa ②中间仓3min抽到2．67×10‰Pa ③加料室3min抽到2．67×103mPa m3， 真空机组：一台机械泵(680m3／h)、一台罗茨泵(510m3／h)、整个熔炼炉体积约50 密封联接法兰百余个，密封焊点几百个，管道长而复杂。 采用负雁分流法：氦质