几何量测量技术进展.pdfVIP

第37卷第5期 红外与激光工程 2008年 l0月 Vo1．37NO．5 InfraredandLaserEngineering 0ct．2008 几何量测量技术进展 曹学东，范天泉，吴时彬，耿丽红，伍 凡 (中国科学院光 电技术研 究所 ，四川 成都 610209) 摘 要：为将排列互比法用于超精测角研究、大型机械零部件形位误差在位测量技术研究及非球 面主镜面形误差测量技术研 究等几何量测量课题 ，在理论分析及实验验证的基础上推导出了排列互 比法理论公式及 系统误差产生的原因，在优化组合传统检验方法的基础上提 出了大型机械零部件形 位误差测量方案 ，并解决了舛 ．5mx5m 高精度机架测量难题 ，采用拼接技术、哈特 曼技术及补偿技 术等解决 了 1．8m 大 口径非球面主镜面形误差测量难题 。 关键词 ：检测技术； 超精测角测量；