微硬度計量頭之幾何形狀量测.pdfVIP

微硬度扑屋霸之袋何形状量测 夔塑隆木隙彦良 工柒技衍研究院量测技衍骚展中心工程断 *E-mai 1：Walter_TsaiOitri．org．tw 摘要：材料的横械特性通常取泱於其硬度，一般泱定硬度的方法可以利用硬度针墅顽封材 料表面造行壁印，因此硬度静璺颐的栽何形状，封硬度的量测十分重要。本文提出一泱定 微硬度静蟹顽之探顽大小舆矍殒灾角的方法，利用一高精密接蠲式探针量测馐，在垂直方 向封硬度封墨硬做接朗量测，所得之墨殒表面曲缘再利用摺穰逢算造行探针大小的修正 後，利用高斯．牛顿最小平方凝合法分别封顶端圆弧曲综部分遣行圆撮合，再利用最小平方 缘撮合法封左右雨端切综部分遥行缘凝合，便可分别静算得到硬度射矍殒之探顽大小以及 其棵稻值相喾接近，不碓定度估算约分别裔O．150舆0．2 pm，足以筑明此方法之可行性。 翻键字：硬度静、硬度量测、硬度封墨颈、探针式量测俄、最小平方凝合法 一、前言 利用硬度射封材料表面遥行墨印，是一般常用的硬度榆测方法，经由璧印後靓察印痕 之深浅，便可泱定材料之硬度【l】。另外硬度卦也可用柬榆测材料表面是否具有内虑力，缀 壁印後觏察壁痕表面形貌是否舆墨顽残何形状一致，由此可求得如榻氏保敷(Young’s Modulus)等材料特性参甄因此封於硬度箭而言，其匿颈表面畿何形状封於精密的硬度桧测 上，具有其重要性【2】。 综靓墨殒之表面栽何，可由锥度(即矍顽爽角)舆尖端R角(即墨霸半径)雨项参敦柬泱 定。在微硬度针的针量尺寸等级，璧顽半径大约小於敷百微米左右，因此若欲以影像方法 量测，剐必须利用颞微镜成像，例如使用白光播描干涉颢微镜等【3】。然而因其表面斜率燮 化遇大，以致於反射光燕法全然地被接收，因此利用颞微镜成像系统经常燕法量得完整之 攫顼形貌。 本文利用高精密之接桶试探针量测饿(contactstylusinstrument),将硬度针墨霸以颈朝上 之方式垂直架设後，利用探针量测俄之探顽直接於硬度针壁顼表面造行接儡式之量测，可 得完整之表面输廓曲缘。再分剧以最小平方之综撮合法以及高斯．牛顿圆撮合法，分别封翰 廓曲综不同位置造行撮合，便可依撩撮合结果求得微硬度射壁顽之爽角舆半径。文中寅隙 量测由Kinik Companyfl{虚之硬度针壁娟，量测结果舆其檩稻值相富接近，量测结果之不碓 定度估算约分别药0，150舆0。2 pm，足以筑明此方法之可行性。 二，原理 以下将量测原理分稳链器部分以及分析量测结果部分，适行封输。 (a)利用接桶式探针量测俄量测硬度静壁顽表面曲缘 本文所使用之接桶式探针量测馐，是由日本KOSal【a公司所生虚之E．r4100量测馐，量测 231 原理耦利用探针(stylus)循待测工件表面滑勤，收绿器(pick．up)将工件表面起伏状沉(横械飙 虢)耱燮成感魔雹流(鼋子飙虢)，此鼋子讯虢缝放大器放大後，可送挥造入滤波器监以道富 的切断值(cut-offwavelength)追行滤波舆表面粗度参敷之直接静算，或者运挥燕滤波之状恁 造行量测，蓝将量测所得之原始敷摅傅至外接鼋腾，以造行各项逗算工作。封於本次量测 而言，即药後者之方法【4】。 (b)由最小平方缘撮合法打算得到壁殒爽角 假毅封黠资料撮合後之方程式羯 Y=a+bx， (1) 且此方程式封各黠资料(X．，Y1)，@2，Y2)，…，(工。，)，。)具有最近似之解，其中 rt≥2，则最佳撮合曲缘“曲具有最小平方误差，亦即 △=ElY；一，(‘)】2=∑[)，，-(a+bx；)】2=min，(2) 上述a舆6羯未知保敦。富所有髓舆月经由量测得到後，旗坷缝由推尊得到 以=攀裂， ㈣ (4) 将墅顽曲综之