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实验十 压阻式压力传感器的压力测量实验 一、实验目的 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。 二、基本原理 扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P 型或N 型电阻条，接成电桥。在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，我们把这一变化引入测量电路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。 三、实验器材 主机箱、压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、引压胶管。 四、实验步骤 1、将压力传感器安装在实验模板的支架上，根据图4-1 连接管路和电路（主机箱内的气源部分，压缩泵、贮气箱、流量计已接好）。 引压胶管一端插入主机箱面板上气源的快速接口中（注意管子拆卸时请用双指按住气源快速接口边缘往内压，则可轻松拉出），另一端口与压力传感器相连。 压力传感器引线为4芯线：1端接地线，2端为U0＋，3端接＋4V电源，4端为Uo－。 图4-1 压阻式压力传感器测压实验安装、接线图 2、实验模板上RW2用于调节放大器零位，RW1调节放大器增益。 按图4-1将实验模板的放大器输出V02 接到主机箱电压表的Vin插孔，将主机箱中的显示选择开关拨到2V 档，合上主机箱电源开关，RW1 旋到满度的1／3 位置（即逆时针旋到底再顺时针旋2圈），仔细调节RW2使主机箱电压表显示为零。 3、合上主机箱上的气源开关，启动压缩泵，逆时针旋转转子流量计下端调压阀的旋钮，此时可看到流量计中的滚珠向上浮起悬于玻璃管中，同时观察气压表和电压表的变化。 4、调节流量计旋钮，使气压表显示某一值，观察电压表显示的数值。 5、仔细地逐步调节流量计旋钮，使压力在2～18KPa之间变化，每上升1KPa 气压分别读取电压表读数，将数值列于表4-1。 表4-1 P(KPa) 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Vo(p-p) P(KPa) 11 12 13 14 15 16 17 18 Vo(p-p) 6、画出实验曲线计算本系统的灵敏度和非线性误差。 实验完毕，关闭电源。 五、思考题 如果本实验装置要成为一个压力计，则必须对电路进行标定。 方法采用逼近法：输入4KPa 气压，调节Rw2（低限调节），使电压表显示0.25V（有意偏小），输入16KPa 气压，调节Rw1（高限调节），使电压表显示1.2V（有意偏小）；再调气压为4KPa，调节Rw2（低限调节），使电压表显示0.3V（有意偏小），调气压为16KPa，调节Rw1（高限调节）使电压表显示1.3V（有意偏小）；这个过程反复调节，直到逼近自己的要求（4KPa～0.4V，16KPa～1.6V），满足足够的精度即可。 实验十一 压电式传感器振动测量实验 一、实验目的 了解压电传感器的测量振动的原理和方法。 二、基本原理 压电式传感器由惯性质量块和受压的压电片等组成（观察实验用压电加速度计结构）。工作时传感器感受与试件相同频率的振动，质量块便有正比于加速度的交变力作用在晶片上，由于压电效应，压电晶片上产生正比于运动加速度的表面电荷。 三、实验器材 主机箱、差动变压器实验模板、振动源、示波器。 图4-2 压电传感器振动实验原理图 图4-3 压电传感器振动实验安装、接线示意图 四、实验步骤 1、按图4-3 所示将压电传感器安装在振动台面上（与振动台面中心的磁钢吸合），振动源的低频输入接主机箱中的低频振荡器，其它连线按图示意接线。 2、合上主机箱电源开关，调节低频振荡器的频率和幅度旋钮使振动台振动，观察低通滤波器输出的波形。 3、用示波器的两个通道同时观察低通滤波器输入端和输出端波形；在振动台正常振动时用手指敲击振动台同时观察输出波形变化。 4、改变振动源的振荡频率（调节主机箱低频振荡器的频率），观察输出波形变化。 低频振荡器的幅度旋钮固定至最大，调节频率，调节时用频率表监测频率，用示波器读出 峰峰值填入表4-2。实验完毕，关闭电源。 表4-2 f(Hz) 5 7 12 15 17 20 25 V(p-p) 五、思考题 根据实验结果，可以知道振动台的自振频率大致多少？传感器输出波形的相位差Δφ大致 为多少？ 实验十二 电涡流传感器位移实验 一、实验目的 了解电涡流传感器测量位移的工作原理和特性。 二、基本原理 通过交变电流的线圈产生交变磁场，当金属体处在交变磁场时，根据电磁感应原理，金属体内产生电流，该电流在金属体内自行闭合，并呈旋涡状，故称为涡流。 涡流的大小与金属导体的电阻率、导磁率、厚度、线圈激磁电流频率及线圈与金属体表面的距离ｘ等参数有关。 电涡流的产生必然要消耗一部分磁场能量，从而改变激磁线线圈阻抗，涡流传感器就是基于这种涡流效应制成的。电涡流工作在非接触状态（线圈与金属体