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电子回旋共振放电中电子分布特性的研究 金晓林杨中海黄桃 电子科技大学大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室成都610054 摘要：本文介绍了电子回旋共振放电(ECR)电离过程的粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC／MCC)的 模型，该模型以带电粒子与微波的相互作用和粒子间的碰撞过程为主体，考虑了电子与中性粒子的弹 性、激发、电离碰撞，离子与中性粒子的弹性、电荷交换碰撞。在理论分析基础之上，编写了准三维 的ECR放电的模拟程序，对其中的电子分布特性进行了研究，模拟结果很好的解释了ECR放电的电 离特性。 关键词：电子回旋共振放电；粒子模拟；蒙特卡罗 一 1 引言 ECR放电产生的等离子体因具有高电离度、低工作气压、高密度、高电荷态等优势 在微电子工业、原子物理、核物理、高能物理等方面【-4】得到了广泛应用和快速发展。如 何提高ECR等离子体密度、电离度，对于提高应用工作效率，优化设置ECR放电装置等 进行了模拟，但是由于ECR放电中电子回旋共振的特征，使得二维甚至是三维的模拟才 较符合实际的物理过程。 ’ 本文建立了ECR放电的准三维PIC／MCC模型，该模型考虑了带电粒子与微波的互作 用、带电粒子与中性粒子间的碰撞，用到了精确依赖于带电粒子能量的碰撞截面，对ECR 放电电离过程进行了模拟与分析。 2 计算模型与方法 2．1电磁场描述 考虑1E波时，规则圆波导系统中任意场可以表示为： ㈣ 豆。；{础(z，f)瞳×V上t1’]+碟’(zf)陵×V_2’]) ∞ 百=∑{一础(z，f)V√n一磁’(z，f)V上t2’】一乏∑{础(z，r)掣z1’+础磴’2t2’】 其中4订为i极化，TEs模式场的横向波函数。 将麦克斯韦方程组做如下处理： ， IL羽∥)(-罚烈=c‘书∥柙墒烈 ④ 工_。吒·(一萼]烈=c￡_抑t印×驰 ㈤ 。 ④ ￡(乏×V上掣)·(誓]烈=c工(乏×Ⅱ正?·(V×豆)以一4石工歹·(t×V上。’)(n 再将任意场表达式(1～2)代入(3～5)中整理得：一 型盟!：吖i型丝2 @ dt dz ．型掣：稍(z’，) ∽ df 512 避掣一型笋+c口础k”f帆㈦f)} (8) u』 ut 帆“”=丑娶‘驾!塑竺 (9) f【v《’f‘出 22带电粒子运动状态描述 在带电粒子运动的过程中．有可能与其他粒子发生碰撞，或者是与电磁场发生自洽的 相互作用。模拟中每一个时问步长出内带电粒子发生碰撞的几率为： C=IⅧp【“q(￡)m】 (10) 其中Ⅳ为中性粒子的密度；f、”和E分别为带电粒子的能量、速率和总碰撞截面。 考虑的碰撞类型有电子与中性粒子的弹性、激发、电离碰撞；离子与中性粒子的弹性、 电荷交换碰撞。其中所采用的碰撞截面陆-，l均依赖于带电粒子的能量而变化。 产生一个[0，1】均匀分布的随机数胄与只比较，如果R