检测与转换技术 教学课件 作者 郑骊 主编 霍平 主审 第4章 电阻式传感器.ppt

尚辅网 尚辅网 尚辅网 4．温度补偿 压阻式传感器由于有很多优点，因而发展很快，但是温度误差却是这类传感器发展中需要解决的一个问题。下面介绍主要灵敏度温度补偿的方法。 1）在电桥电源端并人温度系数很小的镍铬电阻，以减少原始灵敏度漂移。但这种方法将使得传感器灵敏度降低，且补偿效果也不够理想。 2）采用热敏电阻网络，使其温度系数抵消电阻条的温度系数。 3）利用恒流源电流温度特性进行温漂补偿。 4）用恒压源供电，也可以在电源回路中用串联二极管的方法进行补偿。当温度升高时，传感器灵敏度降低，此时可适当提高电桥的电源电压，使电桥输出不改变，这样就可以达到补偿的目的。反之，温度降低时，传感器灵敏度升高，如使电桥的电源电压降低些，仍使输出保持不变，便能达到补偿目的。因为二极管具有负温度特性（温度每升高1℃时，正向压降要减小1.9～2.4 mV），在电源回路中串上适当数量的二极管，也可达到灵敏度温度补偿的目的。但是必须考虑到二极管正向压降的阈值，硅管为0.7 V，锗管为0.3 V，此时恒压源供电电压应稍加提高。 尚辅网 4.2.3压阻式传感器的常用型号 尚辅网 尚辅网 尚辅网 4.2.4压阻式传感器的应用 1．压阻式压力传感器 压阻式压力传感器一般为固态。它是将单晶硅膜片和电阻条采用集成电路工艺结合在一起，构成硅压阻芯片，然后将此芯片封接在传感器的外壳内，联结出电极引线而制成，有时也称作集成传感器。典型的压阻式压力传感器的结构原理如图4-25所示。硅膜片两边有两个压力腔，一个是和被测压力相连接的高压腔，另一个是低压腔，此低压腔通常是小管和大气相通。硅膜片除了圆形外，还有方形、柱形等。图4-26所示是这种压阻芯片结构。 目前，已有量程为130～3.43?109Pa的压阻式压力传感器，其外形因测压环境不同而异，其核心部分是一个单晶硅膜片。膜片成周边固定的圆型，有效直径与厚度之比常在20～60之间。膜片上构成全桥的4片电阻条中有2片位于压应力区，另外2片位于拉应力区。彼此的位置对于膜片中心是相互对称的。图4-27是两种微型压力传感器的膜片。 尚辅网 尚辅网 1）航空工业中的应用 在航空工业技术中，压力是一个关键参数。测试中不仅要测静压，还要测动压；不仅要测稳态压力，还要测脉动压力；不仅要测局部压力，还要测整个压力场。因此，对测试系统的要求越来越高，特别是要求精度高，体积小，质量轻，工作可靠，响应快的压力传感器，而这些要求正是压阻式传感器广泛使用的原因。早在20世纪60年代，就用硅压力传感器测量直升飞机机翼的气流压力分布。20世纪70年代以来，应用更加广泛，如用于测试发动机进气口处的动压畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。 尚辅网 2）风洞模型试验 美国库利特（Kulite）公司生产的微型压阻式传感器CQL-080-25和LQS-156-25系列是专用于风洞模型试验的。由于用作风洞的模型尺寸是有限的为了获得更多、更准确的实验数据，需要在很小的模型上安装较多的传感器。例如，为了研制某涡轮喷气发动机的轴对称进气管道相互作用，在模型上安装了非常密集的压阻式压力传感器（见图4-28），其外径仅有2.36mm，固有频率为300kHz，非线性和迟滞均为满量程的?0.22％。在压气机入口流量的测试中，在同一点上既要测动压又要测静压，所以采用了双筒型探头。 尚辅网 3）生物医学上的应用 图4-30为一种可以插入心内导管中的压阻式压力传感器。这种传感器的主要技术指标是悬臂梁的固有频率和电桥的输出电压。图中的金属插片是为了对上下两个硅片进行加固用，硅片与金属插片用绝缘胶粘合。在计算固有频率时，应将金属插头、胶合剂的影响考虑进去。为了导入方便，在传感器端部加一塑料囊。 该类传感器可以测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内等的压力。目前，已有脑压传感器、脉搏传感器、食道、尿道压力传感器、小型血液压力传感器、检查青光眼和肾脏中血液压力传感器等。 尚辅网 2．压阻式加速度传感器 压阻式加速度传感器，通常是采用矩形硅悬臂梁结构。如图4-31所示，在硅悬臂梁的自由端，装有敏感质量块。靠近梁的根部，扩散4个性能一致的电阻，构成惠斯顿电桥。当悬臂梁自由端的质量块敏感外界加速度时，由于惯性力的作用，压阻元件上产生应变?，则电桥输出与加速度成正比的电压。 图4-32是一种压阻式加速度传感器结构图，传感器采用了开环输出的悬臂梁结构。自由端用906胶粘结上敏感质量块，基座可采用与单晶硅热膨胀系数相近的合金，如钛合金。为减小质量块的体积，可以采用高比重合金。悬臂梁的空腔灌满阻尼油，保证一定的阻尼系数。阻尼油可用硅油、甘油或变压器油。由于压阻元件的低频响应特性较好，上述传感器结构一般适于测试低频（0～100 Hz）、小量程加速度。 尚辅网 图4-