AlTi双层薄膜TES的光子数分辨特性表征.pdfVIP

低温与超导 超导技术 Cryo． Supercond． 第42卷 第 11期 Superconductivity V01．42 No．11 A1／Ti双层薄膜 TES的光子数分辨特性表征 董文慧，张青雅，刘建设，李铁夫，陈炜 (清华大学微电子学研究所，清华信息科学与技术国家实验室，北京 100084) 摘要：报道了A1／Ti双层薄膜超导TES的光子数分辨特性。通过设计双层薄膜的尺寸，使其满足光子数分辨所 需的热导、热容需要，制备出了完好的TES。在320mK的低温下，通过测试其对 1550nm光脉冲的响应，发现等效光 子数分辨率可达到40个左右。这是使用超导TES实现单光子探测及进一步实现量子通讯的重要基础。 关键词：A1／Ti双层薄膜；TES；光子数分辨 Thephotonnumberresolution characterizatiOn0fA1／／Tibilayerfilm TES DongWenhui，ZhangQingya，LiuJianshe，LiTiefu，ChenWei (TsinghuaNationalLaboratoryforInformationScienceandTechnology，InstituteofMicroelectronics， TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) Abstract：ThispaperreportedthephotonnumberresolutionoftheA1／TibilayersuperconductingTES．Bydesigningthesize ofthebilayerfilms，wecouldmakethermalconductivityandheatcapacitytomeethterequirementof thephotonnumberresolu— tion．TheauthorsfabricatedintactTES．Atthelow temperatureof320mK，bytestingtheresponseto1550nm pulse，weofund thattheequivalentphotonnumberresolutioncouldreach40orso．Thisistheimportantbasisofrealizingsinglephotondetection andquantum communicationbysuperconductingTES． Keywords：A1／Tibilayerfilm，TES，photonnumberresolution 1 引言 得双层薄膜的超导转变温度 可调，并决定器件 的工作温度。TES探测器具有优越的光子数分辨 以量子密钥分配 (QuantumKeyDistribution， 能力，即它能够分辨每次输入探测器的光子个数。 QKD)为代表的各种量子信息技术引起了人们极 TES探测器在一个脉冲宽度 内吸收n个光子后， 大的兴趣并获得了飞速发展。而量子信息技术利 产生的输出信号幅度正比于nE，E=hc／A为单个 用单个基本粒子如光子等对信息进行编码和操 光子能量，监测输出信号的幅度即可实现光子数 控，因此对单光子探测器的性能提出了非常苛刻 分辨。 的要求，如探测效率、计数率、光谱响应范围、光子 AI／Ti双层薄膜 TES探测器是一个很好的选 数分辨能力等等都必须远远超出现有器件。以超 择，因为它们都可通过室温下的溅射或电子束蒸 导单光子探测器为代表的新型低温单光子探测器 发来实现，可以确保 良好的超导性能。原则上， 件，其性