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第43卷 第 8期 人 工 晶 体 学 报 Vo1．43 No．8 2014年 8月 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS August，2014 La掺杂对 ZnO纳米薄膜微观结构与光学特性的影响 朱 婧，马书懿，李发明，麻 琳，杨晓红，王彩云，李向兵 (西北师范大学物理与电子工程学院，兰州 730070) 摘要：采用射频磁控溅射方法在 si衬底上制备了不 同掺杂量 的La掺杂 ZnO(ZnO：La)薄膜。用 x射线衍射 (XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)、紫外一可见分光光度计和光致荧光发光 (PL)等表征技术 ，研究了不同掺杂量对 ZnO：La薄膜的微观结构和光学特性的影响。结果表明，所有薄膜均只出现的(002)衍射峰，表明La 可以替代 zn 或者进入ZnO晶格间隙，并未改变ZnO的六角纤锌矿结构。通过计算可知 La掺杂可以抑制ZnO的晶粒增 长。可见光范围的透过率超过80％，同时随着La掺杂量的增加 ，薄膜的光学带隙值逐渐增大。通过对光致发光谱 的研究表明，La掺杂可以增强ZnO薄膜室温下的紫外光发光强度。 关键词：ZnO：La薄膜 ；微观结构；光学带隙；磁控溅射 中图分类号：0484 文献标识码：A 文章编号：1000-985X(2014)08—1948-06 InfluenceofLaDopingontheM icrostructuresand OpticalPropertiesofZnO ThinFilms ZHUJing，MAShu-yi，LIFa—ming，MALin，YANGXiao—hong，WANGCai—yun，LIXiang—bing (CollegeofPhysicsandElectronicEngineering，NorthwestNormalUniversity，Lanzhou730070，China) (Received26March2014，accepted18 ril2014) Abstract：TheLa—dopedZnO(ZnO：La)filmswithdifferentLadopingconcentrationsweredepositedon Sisubstratesusingtheradiofrequencyreactivemagnetronsputteringtechnique．TheeffectofLacontents on thecrystallinestructureandoptical propertiesofZnO：LathinfilmswereinvestigatedbytheX-ray diffraction(XRD)，scanningelectronicmicroscopy(SEM)，ultraviolet—visiblespectrophotometerand fluorescenceSpectrophotometer．Onlythe(002)diffractionpeakofthehexagonalwurtziteZnOstructure waspresented，ItindicatesthatLaatomshavebeenincorporatedintotheZnOmatrix，donotchangethe wurtzitesturctureoftheZnOfilms．TheLadopingprobablylimitthegraingrowthbyevaluated．Allfilms haveanaverageoptical transparencyover80％ inthevisiblerange，meanwhiletheo