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成份对BCN薄膜结构和纳米力学性能的影响.pdf
第 38卷 增刊 人 工 晶 体 学 报 Vol. 38 Spec ia l E dit ion
2 009年 8月 JOURNAL OF SYNTH ET I RY STA LS Augu st, 2009
成 份 对 B N 薄 膜 结 构 和 纳 米 力 学
性 能 的 影 响
1, 2 1 2 2 2
徐淑艳 , 王立海 , 马欣新 , 唐光泽 , 孙明仁
( 1. 东北林业大学工程技术学院, 哈尔滨 150040; 2. 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院, 哈尔滨 15000 1)
摘要: 利用直流磁控溅射技术制备了三元 B N 薄膜, 通过在 100~ 500 mA 之间调节励磁线圈电流, 获得 了不同成分
的 B N 薄膜 。分析结果表 明随着励磁线圈 电流的增加, 薄膜 中 B 含量 由 4 3 a t% 上升至 53 at% , 含量 由 2 5 at% 下
降至 15 at% , 而 N 原子百分含量基本不随励磁线 圈电流的改变而变化 。随着 B含量不断增加, 含量不断减少, 薄
膜 中 B- 键含量逐渐减少, 而 B-N 键含量相应增加, 并且薄膜 中类 B 3. 4的 B- 键逐渐 向类 B4 的 B- 键 转化 。薄
膜 中 B和 含量的变化对薄膜 的力学性能影响不 明显, 薄膜 纳米 硬度 位于 17. 0~ 20. 4 GP a之间, 弹 性模 量位于
16 1. 0~ 197. 3 GPa之间。
关键词: B N 薄膜; 纳米力学性能; 磁控溅射
中图分类号: TB43 文献标识 码: A 文章编号: 1000- 985X ( 2009) S1- 02 75- 04
E ffect of om po sit ion on Stru ctur e and N an o-m ech an ica l
P r op er t ies of B N F iml s
1, 2 1 2 2 2
XU Shu-yan , WAN G Li- ha i , MA Xin- x in , TAN G Guang- ze , SUN M ing- ren
( 1. ol lege of Engin eer ing and Technology, N ortheast F ore stry Un ivers ity, H arb in 150040, h ina;
2. School ofM aterials Scien ce
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