折射率可调SiO2薄膜及耐环境性宽频增透膜的制备.pdfVIP

: 张欣向 等 折射率可调 SiO2 薄膜及耐环境性宽频增透膜的制备 22143 文章编号: ( ) 1001-9731201422-22143-04 折射率可调SiO2薄膜及耐环境性宽频增透膜的制备∗ 1 1 1 2 2 , , , , 张欣向 庄梦云 林明月 叶龙强 江 波 　 ( , ; , ) 1.福建农林大学 材料工程学院 福州 350002 2.四川大学 化学学院 成都 610064 : 。 / , 摘 要 通过溶胶 凝胶法制备了折射率连续可调的 双层宽频增透膜 与单层 波长增透膜相比 这些 　 　 - 14 , 。 , SiO2 薄膜 并将其应用于制备双层宽频增透膜 以正 宽频增透膜能够同时透过两个波长的光 因此宽频增 , 。 硅酸乙酯为前驱体 分别以盐酸和氨水为催化剂制备 透膜成为了激光增透膜的热点之一 Thomas制备了 ; 酸催化 溶胶和碱催化 溶胶 将酸催化和碱 在 和 两个波长处都高增透的双层 SiO2 SiO2 527 1053nm SiO2 [] [] 催化的SiO2 溶胶按不同比例进行混合制得酸碱混合 增透膜 7 。Park等制备了近红外宽频双层增透膜 8 。 , 溶胶 最后通过浸渍 提拉法在 玻璃上制备 这些宽频双层增透膜的制备都由两层具有不同折射率 SiO2 - K9 。 薄膜 椭偏仪测试结果表明 薄膜的折射率 。 , SiO2 SiO2 的增透膜组合而成 由此可见 制备各种折射率的增 , 。 , 在 1.18~1.44之间连续可调 折射率随着酸催化 透膜是设计宽频增透膜的关键 此外 由于溶胶 凝胶 - [ ] 9-10 。 SiO2 溶胶比例的增加而增加 分别以折射率为 1.41 法制备的SiO2 增透膜是极性多孔的