溶胶-凝胶法制备柱状TiO2薄膜及其光催化性能研究.pdfVIP

真 空 科 学 与 技 术 学 报 第 34卷 第9期 CHINESEJOURNALOFVACUUM SCIENCEANDTECHN0D【GY 2014年 9月 溶胶一凝胶法制备柱状 TiO2薄膜及其 光催化性能研究 丛炳俊 王 菊 王慷慨 刘 涌 韩高荣 宋晨路 (浙江大学 硅材料国家重点实验室 材料科学与工程学系 杭州 310027) PhotocatalyticActi ofSol—GelTiO2Coatings CongBingjun，WangJu，WnagKang~ ，LiuYong，HanGaorong，SongChenlu (State研 LaboratoryforSiliconMaterials，DepartmentofMaterialsScienceandEngineering，Zhejio~ University， 耐[ o“310327，China) Abstract Thenaatase—phasedTio2coatings，withasingle-layerhticknessof20Bin，weresynhtesizedonquartzsub· strateinsol—gelmehtodwihtTi(oc4H94ashteTi—source，HNO3andCH3COOHashtecatalysts．Theimpactofhtesny- htesisconditions，especiallyhtesinteringtemperature，onhtemicmstructuresnadphotocatalyticcharacteristicsofhteTi02 coatings wasinvestigatedwihtX—mydiffractionscanningelectronmicroscopy，atomicforcemicroscopynadultravioletvis· iblespectroscopy．Th eresults show htathte sinteringtemperature significantly affectshtemicmstructuresnadphoto— catalyticperformance．Forexample，as htesinteringtemperatureincreased，itsabsorbancechangde inadecrease—increase mode，(decreasingfrom300—550~Cnadincreasingfrom550to600℃)，butitsphoto—catalyticactivityvariedinanin— ercasis,-dcereasemode．Wesuggesthtathtelargecolumnargrains，grownat 550qC，beresponsibleforitsgoodphoto— catalyticperformance． Keywords Sol-Gel，Columnargrains ，Grainsize，Photocatalysisproperty 摘要 采用溶胶．凝胶法，由硝酸取代有机络合剂来抑制钛酸四丁酯的水解，在石英基板衬底上采用多次旋涂成功制备 了锐钛矿相柱状晶ri02薄膜 ，并研究了退火温度对结晶性能的影响。当退火温度在4O0～550~C可以制备出锐钛矿相柱状晶 型的Ti02薄膜 ，其薄膜单层厚度可以达到02 nln。利用扫描电子显微镜和X射线衍射分析表征薄膜的微观形貌和结构。通过 谢乐公式计算了晶粒尺寸。样品的光催化活性则通过降解罗丹明B来测定，得出当样品的柱状晶形貌较好时，相应的薄膜光 催化性能也 比较优越。 关键词 溶胶一凝胶法 柱状晶 晶粒尺寸 光催化性 中图分类号：0484 文献标识码：A doi：10．13922／j．cnki．cjovst．2014．09．11 自从 1972年 Fujishima和 Honda发现 Ti02电极 低廉已被广泛地应用，但其制备出来的薄膜多为颗 在紫外光照下能降