沉积纳米TiO2织物的制备与其光学透射性能的研究.pdfVIP

第A届中国纳米科技两安研讨会论文集 沉积纳米Ti02织物的制各及其光学透射性能的研究 徐阳，魏取福，汪莹莹，吴洪添，孙磊 (江南大学生态纺织教育部重点实验室．江苏无锡．214122) 摘要：在室温条件下采用直流碰控反应溅射方法，在涤纶纺粘非织造织物(PET)表面沉积，纳米二氧化钛 C五02)功能结构层．研究在不同氧气流量的溅射工艺条件下制各的沉积纳米Ti02织物的光学透射性能． 同时利用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(ARM)对纳米1i02结构层的晶体结构和表面形貌进行了分析 和表征．实验表面：氧气流量是在PET织物表面直流反应溅射制各纳米币q功能结构层的一个重要参数， 随着氧气流量的增大，沉积速率明显降低，所制备沉积纳米前02PET织物的白度值变大。在一定的范围内． 氧气流量增加，织物抗紫外线透射能力加强。 关键词；直流反应磁拄溅射：纳米二氧化钛；涤纶纺粘非织造织物；透射率 0引言 纳米Ti02具有优异的光催化和紫外屏蔽性能【lJ，将其应用在纺织品上可赋予织物抗菌、 自清洁和紫外防护等多种功能。是当前纺织行业的研究热点。 method)口j，该法工艺 目前沉积纳米ri02织物的制各方法大都采用溶胶一凝胶法(sor．gel 简单易行，但负载层不够均匀、致密。和织物的粘着力差，难以适应长期、循环应用。而采 用磁控溅射方法在织物表面沉积的纳米Ti02结构层，厚度均匀且易控制，表面均匀、致密脚。 另外，使用直流磁控溅射法，在良好的真空条件下，基底温度不需要很高就可以制各出高质量 的Ti02薄膜HJ，这对于耐热性能相对较差的纺织材料来说更具有实际应用价值。因此本研 究在室温条件F采用直流磁控反应溅射方法。在涤纶纺粘非织造织物(PET)表面沉积纳米二 氧化钛(Ti02)功能结构层。研究在不同氧气流量的溅射工艺条件FN备的沉积纳米Ti02 织物的光学透射性能。同时利用x射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)对纳米Ti02结构 层的晶体结构和表面形貌进行了分析和表征。 1实验 l。l材料 基材：涤纶纺粘非织造织物，规格：6crux6cm． 100(±10％)g／m2。 靶材；99．99％纯金属Ti靶(050mm，中科院沈阳金属研究所)。 1．2仪器 KQ-50B型超声波洗涤器(昆山超声仪器有限公司)，JZCK-420B型高真空多功能磁控溅 射设备(沈阳聚智科技有限公司)．WSD．Ⅲ型全自动白度仪(北京康光仪器有限公司)。 CSPM3300原子力显徽镜(广州本原公司)，X’PertMPD PRO多功畿x射线衍射仪(荷兰帕 纳科公司)． SP．1700型紫外．可见光谱反射仪(上海光谱仪器有限公司) 1．3沉积纳米Ti02PET织物的制各方法 1．3．1织物预处理 将PET织物试样放入丙酮溶液中．用超声波洗涤器洗涤30rain，以去除织物表面的有机 溶剂。灰尘等杂质，然后放入40～45℃的烘箱中烘干。 1．3．2制备工艺 以高纯金属Ti靶为靶材，经预处理的织物为基材，采用直流磁控反麻溅射设备制备沉积 纳米Ti02织物。为控制沉积时基材的温度．避免由于高温而发生的基材变形，采用水冷装置 冷却基片；为避免杂质颗粒落到基材表面．采用基材在上、靶材在下的结构．即由下向上的 溅射方式，靶与基材间距为60ram=为使溅射反应产生的In02粒子能均匀附着在基材上．实 第六届中国纳米科技西安研讨会论文集 验过程中，样品架以100r／min的速度旋转；为保证纳米耵02纳米结构层的纯度-先将反应室 应气体。每次溅射前，先在氢气气体中放电5min左右以除去靶表面氧化物。实验中选定工 w等基本参数，通过控制不同的氧气流量， 作压强为0．3Pa，氩气流量为80Sccm，溅射功率70 制备沉积纳米Ti02PET tim。 织物。沉积厚度由随机膜厚仪控制在100 1．4XRD分析和AFM表征