单芯片集成加速度计陀螺研究.pdfVIP

cⅢN^ME^suREM州Ete删r“Ⅱ技术ST[NcⅡc㈣IDcY 旗鼙孰 vokl．”20。8No,。1 单芯片集成加速度计陀螺的研究 刘俊”，石云波2。张文栋2 北京大学微电，研究所，北京1019)87；2华北】．学院电子【．程最．山西太啄03005 摘l：z章对沦r单蒜片集成加速度计陀螺的结掏＆其I．作朦珲．井对单拈构加速度计陀螺的加建度信号和陀螺 信号的分离进行了阐述。在H往的微型惯性测最组合中+加速度¨和陀螺是分离的．这样将产生较大的辅问槲台谨 差。设计r“匪嚣块振动系统，刺用一十敏感头瑚时侧世加迪度和陀螺杵导，桩此基础L讨论了陀螺舶驱动电路々 信呼检测电路。 *鼍目：陀螺仪；^Ⅱ进度计；静电驱动．单芯H集成 03 中目#粪{ 女■#m日A 女t*■1672_4984(2008l■W一0075 1引言 有关公司台作开发出r框架式振动陀螺，瑞上 陀螺仪主要是用来测罱运动物体的姿态或转 Neueliatel大学也研究出了一种类似的陀螺。英国 动的角速度，加速度计是用束测量加速度的变化； Newest大学和Du小踟大学合作．研究出了一种振 单芯片缮成加谴度计陀螺仪胜把陀螺仪和加速度 动膜式硅微机械陀螺。 计集成狂块芯片I。．用同一个敏感头来检测角速 鉴于惯性器件所具有的优点，现巳研制m大培 度信良和加速度信息．最终可以提供物体的姿态， 的振动惯忡器什厦二次仪表，例如微型惯性测量纽 位置和速度信息。 台。fH巾于微型惯性测量组台丰要用于军事场合， 微机械加速度计是微机电系统领域研究最早 涉及国家安幸的领域，可见的报道较少．美吲Dmper 实验室的微型惯性测量组合采用三个微硅陀螺、： 的器件之一。早在1979年Royl卸ee和Angell就开 始，微机械压阻式加速度计的研制，随后各种结构 个微硅加速汁和附加电子电路构成的MIMU：本文 的Ⅲ阻式加速度计栩继出现，并且增加r自榆功能 主要使研究把加速度计和陀螺仪集成n 个单芯 和浆成CMOS电路，测聃方向也从单轴逐渐向当轴片r，减小微型惯性测量组合的耦合误蓐．缩小体 鹅成测堪发攫。另外，多轴啦片集成加速J笠仍然是 积，提高其综弁性能， 2微机械振动式加速度计陀螺仪的结构设计 澈机电加速度计研究的热点．自从Takao和Lemkin T：1997年分别提出了采用体硅丁艺和表面工艺的 j殳计丁如阿i所示的微机械，该设计为双质茸 二轴集成检测方法以来．在单片三轴集成方嘣同外 块正交梁结构．其驱动电蚀在框架I：。该结构由框 陆续做丁小少的研究．但目前尚未有商业化产品， 架、质量块、【酎定lb极，活动电极、正交粱和支撑弹 在微型陀螺的研制方面 丰要有两种T作模 簧纽成。其中框架起总体支撑作用．质量块与固定 式：(¨JF环振动模式——建立固定的振动模式仆 洲世哥氏加速度，以便决定旋转速牢；(2)山平衡横 式——建讧田定振动模式，但枉闭环模式中丁作． 通过偏差测最．由反馈电路宴现闭环趋，拳拄制。 Creiff等人于1991午舟绍r一种框架式微机电力 平衡陀螺．采井{力平衡方式来改善线性，拓展领带， 1994年美国DmperLab最早研究硅微目【械陀螺，目 前已封装和试验了数百个不同型号的微机械陀螺； 美同加州伯克利大学，H∞kwell和AD公司舍作已 生产有低精度的微机械陀螺仪产品。俄国奠斯科 VectorLtd正在研制精密的微机械陀螺．已经过论 汪、仿班吏验．口奉的Yokohama研究开发中心‘j 76