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第32卷第2期 压电与声光 V01．32No．2
2o1 Apr．2010
文章编号：1004—2474(2010)02-0254—04
MEMS压电变形镜的有限元分析与结构优化设计
张晋弘1，许晓慧2，冯 艳1，李保庆1，马剑强1，褚家如1
(1．中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽合肥230026；2．江西省电力科学研究院，江西南昌330096)
摘要：对PZT厚膜驱动的微变形镜(DM)进行了结构优化设计。基于有限元方法(FEM)。分析了结构中各
个参数对变形镜性能的影响。优化结果表明，单元边长1．75mm的驱动器。在最优参数下冲程可达2～5m@
100
V，且加载镜面后驱动器的位移损失小于12％，带镜面负载能力强。根据优化结果制备了压电厚膜微驱动器阵
列，驱动器的冲程可达4．5肚m@100V，并与有限元方法的结果进行了分析比较。
关键词：PzT厚膜；变形镜；优化
中图分类号：TNl6 文献标识码：A
FiniteElement andStructure forMEMS
Analysis Optimization
Mirror
Deformable
ZHANG Xiaohui2。FENGYanl，LI Jiarul
Jinhon91，XU Baoqin91，MAJianqian91，CHU
andPrecisionInstrumentation，Hefei
ofScienceand of PrecisionMachinery 230026，China；
(1．University TechnologyChina，Dept．of
Research 330096，China)
ElectricPower Institute。Nanchang
2．Jiangxi
deformablemirror(DM)basedonPZTthick
Abstract：Thestructure forpiezoelectricallyactuated
optimization
was influenceofstructure on ofDMwas finiteelement
film performed．The parameters analyzedby
perfofinances
method(FEM)．Theresultsshowedthatthe1．75mm PZTthickfilmactuatorwith
optimization square optimized
couldobtainastrokeas as V，andthereductionoftheactuatorstrokecausedas’
parameters high2～5”m@100 by
amirrorwaslowerthan12％，which a load
s
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