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类金刚石薄膜在不同环境中的摩擦学研究 徐洮1，李红轩“2，王成兵“2，陈建敏‘ · (1，中国科学院兰州化学物理研究所围体润滑国家蕈点实验室，兰州730000； 2中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：利用等离子增强化学气相沉积‘PECVD)技术在单晶硅基底上制备了类金刚石(DLC)薄膜．采用Raman 光谱和红外光谱研究7薄膜的微观结构，利用可控气象摩擦试验机考察7薄膜在不同环境中的摩擦学行为。结果 表明：制备的薄膜具有典型的含氢类金刚石结构特征，环境气氛对I)LC薄膜的摩擦行为有显著的影响．在干燥的 乩中，薄膜具有非常低而稳定的摩擦系数(0．010)；水分子或者氧分子的存在导致薄膜的摩擦系数升高：在高湿度 下，DLc薄膜发生灾难性磨损．薄膜在不同环境中的摩擦行为与薄膜和测试环境之间摩擦化学作用有关． 关键词：粪金刚石薄膜；摩擦学行为：测试环境 1引言 类金刚石(diamond-likecarbon，DLC)薄膜是一种具有高硬度、低摩擦系数、高耐磨性以及良女f化学 稳定性的非晶碳薄膜材料，作为固体润滑薄膜可以广泛应用于机械、电子．航空航天等